日本napson嵌入非接触式电阻测量模块

日本napson嵌入非接触式电阻测量模块

• 可以集成到用户生产线或传输机器人中的测量模块
• 根据所需的电阻测量范围确定探头数和探头类型
• 通过局域网连接将命令/测量数据传送到主机PC
• 可以集成到用户生产线或传输机器人中的测量模块
• 根据所需的电阻测量范围确定探头数和探头类型
• 通过局域网连接将命令/测量数据传送到主机PC

测量规格

测量目标

半导体/太阳能电池材料相关（硅，多晶硅，SiC等）
 新材料/功能材料相关（碳纳米管，DLC，石墨烯，银纳米线等）
 导电薄膜相关（金属，ITO等）
 硅基外延，离子与
 半导体相关的注入样品化合物（GaAs Epi，GaN Epi，InP，Ga等）
 其他（*请与我们联系）

测量尺寸

2-8英寸，〜156 x 156毫米
（可选;〜12英寸，〜210 x 210毫米）

测量范围

[电阻] 1m至200Ω·cm 
（*所有探头类型的总范围/厚度500um）
[板电阻] 10m至3kΩ / sq 
（*所有探头类型的总范围）
[厚度] 500至约800μm

*有关每种探头类型的测量范围，请参阅以下内容。

（1）低：0.01至0.5Ω/□（0.001至
0.05Ω- cm）（2）中：0.5至10Ω/□（0.05至0.5Ω-cm）
（3 ））高：10至1000Ω/□（0.5至60Ω-​​cm）
（4）S-高：1000至3000Ω/□（60至200Ω-cm）

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