日本napson嵌入非接触式电阻测量模块
测量目标
半导体/太阳能电池材料相关(硅,多晶硅,SiC等)
新材料/功能材料相关(碳纳米管,DLC,石墨烯,银纳米线等)
导电薄膜相关(金属,ITO等)
硅基外延,离子与
半导体相关的注入样品化合物(GaAs Epi,GaN Epi,InP,Ga等)
其他(*请与我们联系)
测量尺寸
2-8英寸,〜156 x 156毫米
(可选;〜12英寸,〜210 x 210毫米)
测量范围
[电阻] 1m至200Ω·cm
(*所有探头类型的总范围/厚度500um)
[板电阻] 10m至3kΩ / sq
(*所有探头类型的总范围)
[厚度] 500至约800μm
*有关每种探头类型的测量范围,请参阅以下内容。
(1)低:0.01至0.5Ω/□(0.001至
0.05Ω- cm)(2)中:0.5至10Ω/□(0.05至0.5Ω-cm)
(3 ))高:10至1000Ω/□(0.5至60Ω-cm)
(4)S-高:1000至3000Ω/□(60至200Ω-cm)
日本napson嵌入非接触式电阻测量模块
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