日本kelk凯尔化学液体药液加热器

日本kelk凯尔化学液体药液加热器

 CS-HEATEF 半遵体裂造丁□七久CS匕-夕 夕U-少安全·小型·劝率左口>乜升上Ut不>万个型藻液加熟装置。 CSE一夕（Clean & Safe Heater）估半源体表造无口乜又℃O洗净用、V少卜剥雕用等、各槿藻液O 高温加熟用七U乙、短晴問忙仁精度大<温度制御寸否习八（外东1>51少七一夕℃寸。接液部志全乙高辊度O石英力于又、未尤高出力八口分>万>才办5四近赤外腺光I大否放射加熟O大幼、不鲀物污染O心配不要杠高劝率O加热装置℃寸。■特 長1.2-> 加熟部排高钝度透明石英办二重管稿造、加熟方式法八口少>>工I求动放射加熟方式D尤协、接液部温度护低<力与又成分O溶出在小限仁抑乏、一夕破损I求石聚液污染O心配毛态D末世人。2.安全 AIC-8-12 ■使 用例 事用O习外口-5之相合世、各锤安全模能及U、警根糙能I大D安全性C对成U表寸。3.小型 ==配管5个v倡号于 小型股tø龙b.力r沙又于-汇少等O装置内粗认办方容易℃寸。4.高u）加然动率 加热劝率90%以上工衣儿书-口又办少东U省工不理耘放℃走夫才。5.七一夕交换方容易 应万不丘习6zσ-习～ E-夕（八口分>5>7）O交换l、少又于厶D配管左外寸二七女<一方向办⑤容易IE℃表隶寸。6.机尤制御上操作性 ■仕 梯 PID制润汇求D高精度O温度制御、各穗操作·警辊表示老丁外口-节前面八宋儿忙集中U.外部通售楼能O檩津装偏I叔少少又元么概成忙店U大使用O置报办℃杏隶寸。■用 途 工AA-光-不AH-6-AH9V-人AM123-K 型式的以SG二引 如 然 为出它一 9 電力 量温 度 投 定 乾 用 1.LSI裂造才口t又℃O高温处理液O加熟口少□-儿 湿 度 制 即 精 度湿 度 制 铜方 式温变设 定方式温度 表示方式 ●抽散前洗净液（了少毛二严遇水、墟酸淌水）●窒化膜除去液（U酸）●岁卜剥雕液（硫酸遇水） 2.子O他分野飞O各稚藻液历加熟习少口一儿●金X少丰等OX少丰液、前处理液、洗净液、他 配管径（题用继手）菌预系辟容内压安全概都 加 熟 耦 造 列 部 通 石英管断然材 W150×D450×H165 v 加然外形寸法 n5.5kg 重重 对m 外o-= 電 源（50/6OH2） 二.L OQ第 ▲品 AlH-123QS *印∶当社担当截朋处理槽 涤左配O配普圆体1例态示对tO℃、乙和Iiz限备 tO℃l部n隶世人。 -中加然工三外】花左 操后点名放转加热方式r配性Re器互接径已方 12kW 6kW （@新液办键组.避系D全魅容能.收支>等o使用条件C求D翼存动） ±0.3℃ （但U，使用瑞境条件一定℃℃ZHD值段定O达t）PID刚间（C外夕一付志UPDOWN丰-上乙般定控泛夕儿表示4桁（少D.1℃C） 人口分>2>万液C直接触机息UM股加然方式 20mm目轻1单W-岁方花分M企GA 0.5MPa(5kgf/em2) 本习理制防止，空焚态防止，液门对脱养，自已剧断被能14项目换出持出力停止-警餐表示.警报专接点出力 o×H200 w210D47×H20 W250×D4 狗7.7kg__ _L约100kg W75×D278H250 约9.0kg 的13.0kg Ac20/20e AC20020gy AC2020sv 单相1617A AC200208v 罩相64，G5A 单相48（49A 单相3233A 注A意 7y酸、苛性力U节有被溶剂标之，蘖液O植颈节流量求-飞时使用℃冬东唱合加苏D未寸0 亡注文ø前必步书問L合b材<犬i。迹1突起部体含动求世人。

日本kelk凯尔化学液体药液加热器