日本kakenjse大日本科研实验/研究曝光设备
MA-1200A
手动批量曝光机是高混合,小批量生产,实验和研究的理想选择,并且可以实现稳定的自动间隙控制。
MA-1200 | MA-1400 | |||
面板尺寸 | 大200 x 200mmø4“〜ø6” | 高达400 x 400mm | ||
光源 | 超高压汞灯:500W或1kW | 超高压汞灯:2kW或3.5kW | ||
尺寸及重量 | 车身尺寸 | 宽12x深1100 x高1725毫米 | 宽1440 x深1590 x高1882毫米 | |
体重 | 400公斤 | 400kg(包括干净的围栏) | ||
光源重量 | -- | 250公斤 | ||
选项 | 支持特殊的工作尺寸,例如干净的围栏,背面对齐,硬接触(真空紧密接触类型),自动对齐,基材破裂(需要咨询) |
*我们接受有关板子尺寸,水银灯瓦数和特殊规格的咨询。
MA-1200A | |||
晶圆尺寸 | ø2“〜ø6” | ||
光源 | 超高压汞灯:500W或1kW | ||
尺寸及重量 | 车身尺寸 | 宽850 x深1150 x高1665毫米 | |
重量 | 400公斤 | ||
选项 | 背面对齐,自动对齐,板破裂,条形码读取器和LOG存储支持(需要咨询) |
日本kakenjse大日本科研实验/研究曝光设备
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