陶瓷制XY门型高精度工作台

我们集成了索迪克的核心技术，开发出了高速、高精度、无振动的门型舞台。

非接触导引结构（上轴、下轴）
通过空气静承和无芯直线电机的组合，实现了非接触导引结构。没有磨损和产生灰尘的担忧，能够长时间保持亚微米的运动精度和姿态精度。

反力取消结构
上轴采用了取消加速反力的对抗台结构。即使在高速位置检测时，通过加速反力取消结构也能实现无振动和高精度的位置检测。

实现纳米级别的位置控制
我们采用的是拥有众多超精密加工机和高精度放电加工机的索迪克高速运动控制（SLMC）系统。

我们集成了索迪克的核心技术，开发出了高速、高精度、无振动的门型舞台。

非接触导引结构（上轴、下轴）
通过空气静承和无芯直线电机的组合，实现了非接触导引结构。没有磨损和产生灰尘的担忧，能够长时间保持亚微米的运动精度和姿态精度。

反力取消结构
上轴采用了取消加速反力的对抗台结构。即使在高速位置检测时，通过加速反力取消结构也能实现无振动和高精度的位置检测。

实现纳米级别的位置控制
我们采用的是拥有众多超精密加工机和高精度放电加工机的索迪克高速运动控制（SLMC）系统。

我们集成了索迪克的核心技术，开发出了高速、高精度、无振动的门型舞台。

非接触导引结构（上轴、下轴）
通过空气静承和无芯直线电机的组合，实现了非接触导引结构。没有磨损和产生灰尘的担忧，能够长时间保持亚微米的运动精度和姿态精度。

反力取消结构
上轴采用了取消加速反力的对抗台结构。即使在高速位置检测时，通过加速反力取消结构也能实现无振动和高精度的位置检测。

实现纳米级别的位置控制
我们采用的是拥有众多超精密加工机和高精度放电加工机的索迪克高速运动控制（SLMC）系统。