超精密轴承引导元件陶瓷空气滑块
超精密轴承引导元件陶瓷空气滑块
真直度1μm以下/1000㎜
真直度5μm以下/3000㎜
应用陶瓷精密测量仪的加工技术和气浮轴承。
稳定的空气间隙
通过陶瓷的一贯生产,对垫片进行加工处理以符合光束尺寸。
可动部件的轻量化
垫部采用低热膨胀的陶瓷材料。
真直度1μm以下/1000㎜
真直度5μm以下/3000㎜
应用陶瓷精密测量仪的加工技术和气浮轴承。
稳定的空气间隙
通过陶瓷的一贯生产,对垫片进行加工处理以符合光束尺寸。
可动部件的轻量化
垫部采用低热膨胀的陶瓷材料。
滑块规格
| 外形寸法 | W3550㎜ × D230㎜ × H400㎜(最大实际尺寸) ※陶瓷构成部件尺寸 |
| 总重量 | 约500kg ※陶瓷部件总重量 |
| 可动部质量 | 约50公斤 |
| 击球 | 最大3000毫米 |
| 真直度 | 5μm以下/3000㎜ |
滑块规格
| 外形寸法 | W3550㎜ × D230㎜ × H400㎜(最大实际尺寸) ※陶瓷构成部件尺寸 |
| 总重量 | 约500kg ※陶瓷部件总重量 |
| 可动部质量 | 约50公斤 |
| 击球 | 最大3000毫米 |
| 真直度 | 5μm以下/3000㎜ |
滑块规格
| 外形寸法 | W3550㎜ × D230㎜ × H400㎜(最大实际尺寸) ※陶瓷构成部件尺寸 |
| 总重量 | 约500kg ※陶瓷部件总重量 |
| 可动部质量 | 约50公斤 |
| 击球 | 最大3000毫米 |
| 真直度 | 5μm以下/3000㎜ |
滑块规格
| 外形寸法 | W3550㎜ × D230㎜ × H400㎜(最大实际尺寸) ※陶瓷构成部件尺寸 |
| 总重量 | 约500kg ※陶瓷部件总重量 |
| 可动部质量 | 约50公斤 |
| 击球 | 最大3000毫米 |
| 真直度 | 5μm以下/3000㎜ |
滑块规格
| 外形寸法 | W3550㎜ × D230㎜ × H400㎜(最大实际尺寸) ※陶瓷构成部件尺寸 |
| 总重量 | 约500kg ※陶瓷部件总重量 |
| 可动部质量 | 约50公斤 |
| 击球 | 最大3000毫米 |
| 真直度 | 5μm以下/3000㎜ |
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