日本 SEM SELN-121BM 无线双轴数字水平仪
日本 SEM SELN-121BM 无线双轴数字水平仪
设备基础规格
1. 测量范围:±0.3°,X、Y 双轴同步测量
2. 零点重复精度:优于 ±0.001°
3. 响应速度:50ms 以内,实时捕捉微小倾角变化
4. 角度分辨率:0.000025°,屏幕最小显示 0.0001°
5. 量程档位:0.01°/0.001°/0.0001° 三档自由切换
6. 工作温度区间:-10℃~+50℃,适配洁净厂房工况
7. 硬件架构:32 位微控制器,搭载 14 位 A/D 转换单元
8. 显示终端:彩色触控显示屏,图形化模拟气泡视图;角度单位 deg/mm 可相互切换,支持合格阈值自定义设置
9. 通讯方式:无线信号传输,摆脱线缆束缚;另有有线款 SELN-001B 可供选型
核心产品特性
1. 分体无线结构,小型传感器置入设备内部、机械臂等受限空间,显示终端放置外部便于观测,不受布线约束。
2. 可视化图形界面,将传统圆形气泡数字化重现,偏差方向一目了然,新手也能快速完成精密调平。
3. 高精度测量性能,满足半导体光刻机、检测设备等超高基准平台的水平校准需求。
4. 智能化判定功能,预设允许偏差区间,超出范围自动提示 NG,便于标准化质检作业。
5. 双轴同步采集,一次性同时读取两个方向倾斜数据,大幅缩短设备调平工时,提升产线调试效率。
6. 整机轻量化便携设计,传感器与显示器单手均可握持,便于现场巡检与多台设备轮换检测。
适用生产场景
半导体晶圆设备精密调平、真空腔体平台水平校准、高精度光学检测平台调校、自动化机械臂姿态校准、精密机床底座水平检测、工装治具基准校准、实验室精密仪器水平调试
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