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日本 SEM SELN-121BM 无线双轴数字水平仪

产品名称: 日本 SEM SELN-121BM 无线双轴数字水平仪
产品型号:
产品特点: 日本 SEM SELN-121BM 无线双轴数字水平仪
SELN-121BM 是面向半导体装备开发的无线分体式双轴精密数字水平仪,由微型无线传感单元与彩色触控显示终端组成。传感器体积小巧,能够安置在机械臂、设备腔体、狭窄缝隙等传统气泡水平仪无法摆放的位置。仪器采用无线通讯传输测量数据,操作人员可远离被测点位,一边观察触屏画面一边完成设备水平调校,原本双人配合的调平作业单人即可独立完成。设备同步采集

日本 SEM SELN-121BM 无线双轴数字水平仪 的详细介绍

日本 SEM SELN-121BM 无线双轴数字水平仪

日本 SEM SELN-121BM 无线双轴数字水平仪

设备基础规格

1. 测量范围:±0.3°,X、Y 双轴同步测量

2. 零点重复精度:优于 ±0.001°

3. 响应速度:50ms 以内,实时捕捉微小倾角变化

4. 角度分辨率:0.000025°,屏幕最小显示 0.0001°

5. 量程档位:0.01°/0.001°/0.0001° 三档自由切换

6. 工作温度区间:-10℃~+50℃,适配洁净厂房工况

7. 硬件架构:32 位微控制器,搭载 14 位 A/D 转换单元

8. 显示终端:彩色触控显示屏,图形化模拟气泡视图;角度单位 deg/mm 可相互切换,支持合格阈值自定义设置

9. 通讯方式:无线信号传输,摆脱线缆束缚;另有有线款 SELN-001B 可供选型

核心产品特性

1. 分体无线结构,小型传感器置入设备内部、机械臂等受限空间,显示终端放置外部便于观测,不受布线约束。

2. 可视化图形界面,将传统圆形气泡数字化重现,偏差方向一目了然,新手也能快速完成精密调平。

3. 高精度测量性能,满足半导体光刻机、检测设备等超高基准平台的水平校准需求。

4. 智能化判定功能,预设允许偏差区间,超出范围自动提示 NG,便于标准化质检作业。

5. 双轴同步采集,一次性同时读取两个方向倾斜数据,大幅缩短设备调平工时,提升产线调试效率。

6. 整机轻量化便携设计,传感器与显示器单手均可握持,便于现场巡检与多台设备轮换检测。

适用生产场景

半导体晶圆设备精密调平、真空腔体平台水平校准、高精度光学检测平台调校、自动化机械臂姿态校准、精密机床底座水平检测、工装治具基准校准、实验室精密仪器水平调试


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