日本 NPS σ-5 + 四探针式电阻率测试仪

日本 NPS σ-5 + 四探针式电阻率测试仪日本 NPS σ-5 + 四探针式电阻率测试仪

设备基础规格

• 测量方式：直流 4 探针法

• 单次测量时间：约 1.5 秒

• 显示：LED5 位数码管

• 厚度补偿范围：0.1~9999.9μm

• 测量精度：±0.2%

• 电阻率测量范围：1.0000mΩ-cm~500.00kΩ-cm

• 方块电阻测量：1.000mΩ/□~5000.0kΩ/□

• 外形尺寸：W260×D300×H140mm

• 整机重量：约 5kg

• 供电：AC100V，功率 70W

核心产品特性 

 NPS σ-5 + 四探针式电阻率测试仪基于成熟四探针检测原理开发，积累三十余年电阻率测量研发经验，适配半导体基板、导电薄膜基板的电阻检测需求。设备具备上位互换性，现有探针治具与测量程序无需大幅修改，可直接接入原有测试环境，实现设备无缝替换迁移，降低产线改造的时间与成本。仪器在长时间连续测试过程中，能够有效抑制热漂移与探针接触不良问题，保障测量数据重复性稳定可靠，满足大批量产线持续检测需求。设备拥有优良的信号传输性能，具备宽带低插入损耗与优异反射损耗特性，减少高频工况下噪声干扰，真实还原被测器件固有电学特性。整机符合新环境法规，可长期稳定在研发实验室与工业生产线使用。测量精度可达 ±0.2%，测量速度快，支持厚度补偿、手动温度补偿功能，覆盖宽量程的电阻率与方块电阻检测。可选配手动样品台、四探针探头、打印机等配件，灵活搭配组合，适配不同样品尺寸与检测流程。整机结构紧凑，重量轻便，便于实验室放置，操作界面简洁直观，上手简单。

适用场景 

适用于半导体硅片、导电薄膜基板、各类导电材料的研发试验与生产线质量检测。可用于科研院所材料电学特性分析，半导体行业晶圆、薄层材料方块电阻与体电阻率评估，新材料企业导电膜、涂层导电性能抽检，各类导电基板来料检验与成品品质管控。