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日本napson平板电阻薄层电阻测量半自动装置

产品名称: 日本napson平板电阻薄层电阻测量半自动装置
产品型号: RG-100PV
产品特点: 日本napson平板电阻薄层电阻测量半自动装置
玻璃基板上薄膜的四探针法半自动测量仪
XY轴机构台
平面内多点测量配备了均匀螺距或随机螺距设置选择以及2-D ​​/ 3-D映射软件。

日本napson平板电阻薄层电阻测量半自动装置 的详细介绍

日本napson平板电阻薄层电阻测量半自动装置

 

测量规格

测量目标

  • 与半导体/太阳能电池相关的材料(硅,多晶硅,SiC等)
  • 新材料/功能材料(碳纳米管,DLC,石墨烯,银纳米线等)
  • 导电薄膜相关(金属,ITO等)
  • 扩散样品硅基薄膜(LTPS等),IGZO
  • 硅基外延离子注入样品
  • 与化合物半导体有关的(GaAs,Epi,GaN,Epi,InP,Ga等)
  • 其他(*请与我们联系)

测量尺寸

大300 x 300毫米(选件;大500 x 500毫米)

 

测量范围

[电阻(比电阻)] 1m至200Ω·cm 
[片电阻] 1m至1,000kΩ/ sq(选件;〜10MΩ/ sq)

测量规格

测量目标

  • 与半导体/太阳能电池相关的材料(硅,多晶硅,SiC等)
  • 新材料/功能材料(碳纳米管,DLC,石墨烯,银纳米线等)
  • 导电薄膜相关(金属,ITO等)
  • 扩散样品硅基薄膜(LTPS等),IGZO
  • 硅基外延离子注入样品
  • 与化合物半导体有关的(GaAs,Epi,GaN,Epi,InP,Ga等)
  • 其他(*请与我们联系)

测量尺寸

大300 x 300毫米(选件;大500 x 500毫米)

 

测量范围

[电阻(比电阻)] 1m至200Ω·cm 
[片电阻] 1m至1,000kΩ/ sq(选件;〜10MΩ/ sq)

映射图像

  • 半自动类型<br />(多点测量系统[包括软件+ PC])
  • 半自动类型<br />(多点测量系统[包括软件+ PC])

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