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日本thermocera陶瓷顶加热器醉高1800℃

产品名称: 日本thermocera陶瓷顶加热器醉高1800℃
产品型号:
产品特点: 日本thermocera陶瓷顶加热器醉高1800℃
支持超高温和超高真空支持所有定制要求
电热丝:NiCr,石墨,SiC / PBN涂层,PG涂层和其他10种材料可供选择

日本thermocera陶瓷顶加热器醉高1800℃ 的详细介绍

日本thermocera陶瓷顶加热器醉高1800℃

 

总览

陶瓷顶部加热器可广泛用于真空,惰性气体和其他各种工艺气体中的薄膜研发应用,以及各种真空膜沉积设备应用。顶板由氮化铝制成,氮化铝在高温下具有出色的导热性,并且具有很高的电绝缘性(也可提供Inc600,石英,Mo,W,BN板等)。可以根据使用条件来选择加热器元件,例如金属线例如NiCr,Inc,Mo,W,碳加热器例如石墨和CCC,以及涂层加热器例如PG / SiC / PBN涂层。它不仅用于研发,而且在半导体制造设备和各种真空设备(超高真空设备,例如PVD,CVD,MBE等)中的高温热板和基板加热阶段方面也取得了许多成就。

*陶瓷顶部加热器是定制产品。要求估算时,请告知我们所需的规格和条件。

 
   

8“ NiCr元素800℃

3”石墨1300℃

6”西伯克大衣1400℃

2”石墨1200℃

   
 

使用

◉真空薄膜形成(CVD,溅射,ALD,PLD,MBE等)
◉薄膜应力/热分析
wafer晶圆退火的加热台
◉其他

 
   
 

使用的发热体:根据使用环境,可以从以下10种电线中选择

NiCr加热器Max1000℃◉Inconel
加热器Max1000℃ 
◉钨加热器Max1800℃ 
◉钼加热器Max1800℃ 
◉卤素灯加热器Max900℃ 
◉石墨加热器Max2,200℃(真空)
◉C / C复合加热器Max2,200℃(真空) )
◉各种涂层加热器(PG,PBN,SiC涂层,玻璃碳)*醉高工作温度因工作条件而异。

 
   
 

顶板材料

nitride氮化铝
◉铬镍铁合金
◉不锈钢(SUS304,SUS316)
◉石英
◉钼
◉BN

 
   
 

醉高工作温度(元件温度)

 
   
 

主机连接方式

◉ICF法兰
◉ISO(KF,LF)法兰
◉JIS(VG,VF)法兰
◉M6双头螺栓固定
◉固定支架等(*每次开会)

 
   
 

热电偶(可添加用于车身控制和过热检测)

◉K型
◉R,C型

 
   
 

参考数据[1英寸大1600℃陶瓷顶部加热器]温升测试(*页面顶部右图)

 
   
 

参考数据[6英寸大1200℃陶瓷顶部加热器(CCC元件)]面内温度分布测量

 日本thermocera陶瓷顶加热器醉高1800℃

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