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日本thermocera高温阶段“基板加热”1800℃

产品名称: 日本thermocera高温阶段“基板加热”1800℃
产品型号:
产品特点: 日本thermocera高温阶段“基板加热"1800℃
加热,板上/下板,板旋转,RF / DC板偏置
可以根据设备配置自由定制,Depo-Up和Down,定制板支架,板旋转/上/下/上/下,倾斜加热和反向溅射等各种功能都包含在该单元中。
各种加热丝:NiCr,石墨,CCC,Inconel,钨,钼,SiC / PBN / PG涂层,卤素灯和其他10种类型

日本thermocera高温阶段“基板加热”1800℃ 的详细介绍

日本thermocera高温阶段“基板加热”1800℃

 

加热,板上/下板,板旋转,RF / DC板偏置

可以根据设备配置自由定制,Depo-Up和Down,定制板支架,板旋转/上/下/上/下,倾斜加热和反向溅射等各种功能都包含在该单元中。
各种加热丝:NiCr,石墨,CCC,Inconel,钨,钼,SiC / PBN / PG涂层,卤素灯和其他10种类型

总览

基板加热阶段需要加热阶段,例如垂直提升机构(基板支架和加热头中的一个或两个),基板旋转,RF / DC基板偏压(反向飞溅RF / DC清洁)和加热部分倾斜。它是具有多种功能的“多合一”组件。我们可以满足对半导体制造设备和各种真空设备(气相沉积设备,溅射,CVD设备)的所有要求。

 
   
       
 

 

基板加热加热器,晶片加热,加热台,晶片退火2寸热舞台_800C

 

   

 

基板加热加热器,晶片加热,加热台,晶片退火晶圆托盘_提起

 

 
       
   
 

应用/用例

◉半导体制造,薄膜的实验设备,RF / DC反溅射,PECVD,RIE等
◉用热台(800℃说明书→修饰以醉高1600℃)更换现有设备的加热机构
◉新工艺评价机器,样机,等

 
   
 

加热部位规格

◉NiCr加热器
◉Inconel加热器
◉钨加热器
◉钼加热器
◉卤素灯加热器
◉石墨加热器
◉C / C复合加热器
◉各种涂层加热器(PG,PBN,SiC涂层,玻璃碳)

*工作温度和数据均为“陶瓷顶”・请参阅“加热器”。

 
   
   
 

各部分名称


热舞台结构

 日本thermocera高温阶段“基板加热”1800℃

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