半导体工艺气氛测量低浓度氧分析仪

半导体工艺气氛测量低浓度氧分析仪

半导体工艺气氛测量低浓度氧分析仪

1. 该设备采用合金式酸素（氧）传感器，对可燃性气体的感知能力强，并且传感器可以单触更换。在低浓度氧（不足1％）时，也可以进行分解能0.01％的测定。
2. 设备能够通过计算来确认气体置换时间，可以设置充填气体必要的酸素浓度，计算出达到此浓度所需的置换时间，指示灯闪烁时，置换完成。
3. 采用简单的插入式连接，方便地连接到已有的配管。
4. 设备便携，由于采用干电池、质量轻，也适合野外试验槽等。
5. 设备采用两个键，操作简单，适合各种工业炉和装置启动时的气体置换的标准化和品质管理，以及半导体制造工序，燃烧，废气等管理等。

1. 该设备采用合金式酸素（氧）传感器，对可燃性气体的感知能力强，并且传感器可以单触更换。在低浓度氧（不足1％）时，也可以进行分解能0.01％的测定。
2. 设备能够通过计算来确认气体置换时间，可以设置充填气体必要的酸素浓度，计算出达到此浓度所需的置换时间，指示灯闪烁时，置换完成。
3. 采用简单的插入式连接，方便地连接到已有的配管。
4. 设备便携，由于采用干电池、质量轻，也适合野外试验槽等。
5. 设备采用两个键，操作简单，适合各种工业炉和装置启动时的气体置换的标准化和品质管理，以及半导体制造工序，燃烧，废气等管理等。