日本 FUJITECHNOLOGY FPC-181S 真空控制器日本 FUJITECHNOLOGY FPC-181S 真空控制器
设备基础规格
型号:FPC-181S
供电:DC24V,最大 1A
工作模式:APC 模式、MPA 模式
控制方式:PID 控制、位置控制
分辨率:满量程 0.1%
外形尺寸:31.6 × 142 × 172mm
信号规格:4~20mA,0~10V
核心产品特性这款双回路 APC 真空控制器,在 APC 模式下能够读取真空计采集的压力信号自动运算,驱动控制阀快速且平稳动作,稳定维持真空腔体内压力。切换至 MPA 模式,设备接收 4~20mA 电流或 0~10V 电压指令,线性控制阀门在全关至全开区间连续调节。设备可直接显示实时压力数值,支持目标压力设定,PID 相关参数能够通过电脑软件便捷配置。支持外部信号远程操作,PC 端软件可预设多达 16 组阀门位置,实现多工序分段压力控制。内置故障监测功能,伺服系统出现异常时,报警指示灯点亮并输出报警信号,方便现场人员快速定位故障。可选配 UPS 停电备用电源,应对突发断电工况,保护整套真空工艺不受损坏。产品采用紧凑导轨式结构,安装便捷,适配半导体、镀膜设备真空管路配套使用,响应速度快,压力控制波动小,长时间运行状态稳定,满足各类精密真空制程对压力调控的需求。
适用场景广泛应用于真空镀膜、半导体制备、材料热处理、实验室真空腔体等场景,搭配电动真空蝶阀完成真空压力闭环调控,稳定腔体内工艺压力,适用于真空设备成套集成、科研实验与精密制造领域。
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