YAMADA山田光学 高辉度卤素光源装置

YAMADA山田光学 高辉度卤素光源装置

YAMADA山田光学 高辉度卤素光源装置 

表面检查灯 YP-250I 

　　基本信息高强度卤素光源装置

　　超精密平面检测的理想选择！通过惊人的照明，可以检测小于 0.2 μm 的缺陷。

　　“YP-150I"是一种用于显微观察的照明装置，用于检测

　　最终成品表面上的各种缺陷，如异物、划痕、抛光不均匀、雾度、滑移等，是半导体加工过程中劳动强度的一种。晶圆和液晶板

　　...

　　样品表面的照度可超过 400,000 Lx。

　　另外，由于采用卤素灯作为光源，色温高，

　　光照不均匀的情况很少，光照***稳定锐利。

　　姊妹机“YP-250I"也可用于 8 英寸。

　　[特点]

　　■ 光源采用卤素灯

　　■ 可以将样品表面照射到400,000 Lx或更高

　　■ 热量的影响降低到传统铝镜的1/3

　　■ 高照度观察和低照度观察可一键切换

　　请用于超精密平面检测！

　　高亮度卤素光源装置“YP-250I"是用于检测划痕、抛光不均匀、雾度和滑移等各种缺陷的微观察照明装置。

　　采用卤素灯作为光源，色温高，减少照明不均，照明***稳定锐利。

　　此外，本机为“YP-150I"的姊妹机，有螺旋桨风机型和管道风机型可供选择，可根据应用进行使用。

　　【特点】

　　■ 可照射400,000 Lx以上的样品表面

　　■ 可选择螺旋桨式和风道式

　　■ 使用冷镜，热影响是传统的1/3

　　■ 高照度观察和低照度照度观察是一键式 可以

　　■ 8inch 兼容

　　[照明范围]

　　■ YP-250I… 照度范围 φ60

【特点】

　　■ 可照射400,000 Lx以上的样品表面

　　■ 可选择螺旋桨式和风道式

　　■ 使用冷镜，热影响是传统的1/3

　　■ 高照度观察和低照度照度观察是一键式 可以