产品资料
半导体行业用单片流量控制高精度旋转接头
产品名称: 半导体行业用单片流量控制高精度旋转接头
产品型号: MFC型
产品特点: 半导体行业用单片流量控制高精度旋转接头旋转接头间隙密封 MFC 型单片式清洗 · 间隙密封 · MFC 流量控制 · 真空兼容单片传送 · 间隙 1-5 µm · 真空 ≤ 1×10⁻⁴ Pa · 重量 0.8 kg
半导体行业用单片流量控制高精度旋转接头 的详细介绍
半导体行业用单片流量控制高精度旋转接头
半导体行业用单片流量控制高精度旋转接头
旋转接头间隙密封 MFC 型
单片式清洗 · 间隙密封 · MFC 流量控制 · 真空兼容
单片传送 · 间隙 1-5 µm · 真空 ≤ 1×10⁻⁴ Pa · 重量 0.8 kg
一、产品定位
- 单片式清洗：单片传送、单片蚀刻、单片 CMP 后清洗
- 间隙密封：1-5 µm 间隙，无接触密封，颗粒生成 < 1 pc/片
- MFC 流量控制：内置 MFC，0.1-10 L/min，±1 % FS
- 真空兼容：真空 ≤ 1×10⁻⁴ Pa，Class 100 兼容
二、核心技术参数（MFC 型）
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 原理 | 间隙密封 + MFC 流量控制 |
| 间隙宽度 | 1-5 µm（无接触密封） |
| 流量范围 | 0.1 – 10 L/min（±1 % FS） |
| 真空度 | ≤ 1×10⁻⁴ Pa（真空版） |
| 颗粒生成 | < 1 pc/片（0.3 µm 以上） |
| 接触材料 | 316L + PTFE + 蓝宝石（轴承） |
| 温度范围 | -20 – 120 ℃（短时 150 ℃） |
| 接口 | 1/4-28 UNF（真空馈通） |
| 电源 | DC 24 V 1 A（含 MFC 驱动器） |
| 尺寸/重量 | Φ25×70 mm，0.8 kg |
| 寿命 | 20,000 h（连续运行） |
三、功能亮点
- 1-5 µm 间隙密封：无接触密封，颗粒生成 < 1 pc/片
- 0.1-10 L/min MFC：内置 MFC，±1 % FS，单片流量精确控制
- ≤ 1×10⁻⁴ Pa 真空兼容：Class 100 兼容，无油污染
- 0.8 kg 超轻：可直接贴腔体，不增加机械负载
- 20,000 h 寿命：间隙密封无磨损，连续运行 20,000 h
- 单片式清洗：单片传送、单片蚀刻、单片 CMP 后清洗
旋转接头间隙密封 MFC 型
单片式清洗 · 间隙密封 · MFC 流量控制 · 真空兼容
单片传送 · 间隙 1-5 µm · 真空 ≤ 1×10⁻⁴ Pa · 重量 0.8 kg
一、产品定位
- 单片式清洗：单片传送、单片蚀刻、单片 CMP 后清洗
- 间隙密封：1-5 µm 间隙，无接触密封，颗粒生成 < 1 pc/片
- MFC 流量控制：内置 MFC，0.1-10 L/min，±1 % FS
- 真空兼容：真空 ≤ 1×10⁻⁴ Pa，Class 100 兼容
二、核心技术参数（MFC 型）
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 原理 | 间隙密封 + MFC 流量控制 |
| 间隙宽度 | 1-5 µm（无接触密封） |
| 流量范围 | 0.1 – 10 L/min（±1 % FS） |
| 真空度 | ≤ 1×10⁻⁴ Pa（真空版） |
| 颗粒生成 | < 1 pc/片（0.3 µm 以上） |
| 接触材料 | 316L + PTFE + 蓝宝石（轴承） |
| 温度范围 | -20 – 120 ℃（短时 150 ℃） |
| 接口 | 1/4-28 UNF（真空馈通） |
| 电源 | DC 24 V 1 A（含 MFC 驱动器） |
| 尺寸/重量 | Φ25×70 mm，0.8 kg |
| 寿命 | 20,000 h（连续运行） |
三、功能亮点
- 1-5 µm 间隙密封：无接触密封，颗粒生成 < 1 pc/片
- 0.1-10 L/min MFC：内置 MFC，±1 % FS，单片流量精确控制
- ≤ 1×10⁻⁴ Pa 真空兼容：Class 100 兼容，无油污染
- 0.8 kg 超轻：可直接贴腔体，不增加机械负载
- 20,000 h 寿命：间隙密封无磨损，连续运行 20,000 h
- 单片式清洗：单片传送、单片蚀刻、单片 CMP 后清洗
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