产品资料
桌面型高纯半导体气体测量酸素分析计
产品名称: 桌面型高纯半导体气体测量酸素分析计
产品型号: CRDS
产品特点: 桌面型高纯半导体气体测量酸素分析计高纯半导体气体测量专用 · 腔衰荡光谱（CRDS）· 真空 ≤ 1×10⁻⁴ Pa0.01 – 100 ppm O₂ · ±0.01 ppm · 0.1 s 响应 · 5 年寿命 · 即插即用
桌面型高纯半导体气体测量酸素分析计 的详细介绍
桌面型高纯半导体气体测量酸素分析计
桌面型高纯半导体气体测量酸素分析计
高纯半导体气体测量专用 · 腔衰荡光谱（CRDS）· 真空 ≤ 1×10⁻⁴ Pa
0.01 – 100 ppm O₂ · ±0.01 ppm · 0.1 s 响应 · 5 年寿命 · 即插即用
一、产品定位
- 高纯半导体气体测量：H₂、N₂、Ar、He、NH₃、有机溶剂蒸气中的 O₂ 残量
- 桌面型 CRDS：腔衰荡光谱，真空 ≤ 1×10⁻⁴ Pa，Class 100 兼容
- 酸素（氧气）分析：0.01 – 100 ppm，±0.01 ppm，0.1 s 响应
- 桌面型：底面积 A4，2.1 kg，即插即用，5 年寿命
二、核心技术参数（CRDS 型）
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 原理 | 腔衰荡光谱（CRDS） |
| 检测气体 | 氧气（O₂） |
| 测量范围 | 0.01 – 100 ppm（全范围） |
| 精度 | ±0.01 ppm（±0.01 ppm，CRDS） |
| 分辨率 | 0.001 ppm（0.001 ppm，16 bit） |
| 真空度 | ≤ 1×10⁻⁴ Pa（真空版） |
| 大气版 | 可选（内置泵） |
| 响应时间 | 0.1 s（0.1 s，CRDS） |
| 真空接口 | NW16（可转 NW25/NW40） |
| 电源 | DC 24 V 2 A（含 100-240 V 适配器） |
| 尺寸/重量 | 200×150×45 mm，2.1 kg |
| 寿命 | 5 年（CRDS 腔 + 激光器） |
三、功能亮点
- 0.01 – 100 ppm 全范围：CRDS 腔衰荡，全范围精度 ±0.01 ppm
- ±0.01 ppm 超高精度：0.001 ppm 分辨率，O₂ 残量微变实时捕捉
- ≤ 1×10⁻⁴ Pa 真空兼容：真空腔直接安装，无泄漏
- 0.1 s 高速响应：0.1 s 高速响应，适合快速 O₂ 变化
- 2.1 kg 超轻：A5 底面积，可手提移动，通风橱内即用
- 5 年寿命：CRDS 腔 + 激光器，5 年免维护
四、典型应用系统
半导体高纯气体 O₂ 分析┌─ 高纯气体管道 ─┐│ │O₂← CRDS ← 真空馈通 NW16│ │└─ PLC/DCS ──────┘- 高纯 N₂ 中 O₂ 0.1 ppm，0.1 s 响应，±0.01 ppm 精度
- RS-485 实时输出，PLC 闭环控制
五、实测数据（半导体验证）
- 气体：高纯 N₂，O₂ 0.1 ppm，25 ℃
- CRDS 型：
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