产品资料
半导体领域在线高精度测量高纯制药液加热器
产品名称: 半导体领域在线高精度测量高纯制药液加热器
产品型号: ECN型
产品特点: 半导体领域在线高精度测量高纯制药液加热器半导体清洗装置在线用高纯度制药液加热器在线 · 高纯度 · 制药液 · 加热器 · PFA/PTFE流路0-180℃ · ±0.1K · 真空≤1×10⁻⁴Pa · 5-500mL/min · 5年寿命
半导体领域在线高精度测量高纯制药液加热器 的详细介绍
半导体领域在线高精度测量高纯制药液加热器
半导体领域在线高精度测量高纯制药液加热器
半导体清洗装置在线用高纯度制药液加热器
在线 · 高纯度 · 制药液 · 加热器 · PFA/PTFE流路
0-180℃ · ±0.1K · 真空≤1×10⁻⁴Pa · 5-500mL/min · 5年寿命
一、产品定位
- 半导体清洗装置在线用：单片清洗、CMP后清洗、药液预热
- 高纯度制药液加热器：HF/H₂SO₄/NH₄OH/有机溶剂，PFA/PTFE全流路
- 在线加热：5-500mL/min，0-180℃，±0.1K，真空≤1×10⁻⁴Pa
- ECN型：PFA/PTFE，在线，高纯度，5年寿命
二、核心技术参数（ECN型）
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 流路材质 | PFA + PTFE（高纯度，无颗粒） |
| 温度范围 | 0 – 180 ℃（全范围） |
| 精度 | ±0.1 K（±0.1 K，PID） |
| 真空度 | ≤ 1×10⁻⁴ Pa（真空版） |
| 流量范围 | 5 – 500 mL/min（全范围） |
| 洁净等级 | Class 100（0.3 µm ≤ 100 pc/ft³） |
| 真空接口 | NW16（可转 NW25/NW40） |
| 电源 | DC 24 V 2 A（含 100-240 V 适配器） |
| 尺寸/重量 | 200×150×45 mm，1.9 kg |
| 寿命 | 5 年（连续运行） |
三、功能亮点
- PFA/PTFE 高纯流路：无颗粒，Class 100，无金属离子溶出
- 0-180 ℃ 全温度：PID闭环，±0.1 K，药液温度微变实时捕捉
- ≤1×10⁻⁴ Pa 真空兼容：真空腔直接安装，无泄漏
- 5-500 mL/min 宽流量：单片清洗 20 mL/min，CMP 400 mL/min，一台覆盖
- 1.9 kg 超轻：A5底面积，可手提移动，通风橱内即用
半导体清洗装置在线用高纯度制药液加热器
在线 · 高纯度 · 制药液 · 加热器 · PFA/PTFE流路
0-180℃ · ±0.1K · 真空≤1×10⁻⁴Pa · 5-500mL/min · 5年寿命
一、产品定位
- 半导体清洗装置在线用：单片清洗、CMP后清洗、药液预热
- 高纯度制药液加热器：HF/H₂SO₄/NH₄OH/有机溶剂，PFA/PTFE全流路
- 在线加热：5-500mL/min，0-180℃，±0.1K，真空≤1×10⁻⁴Pa
- ECN型：PFA/PTFE，在线，高纯度，5年寿命
二、核心技术参数（ECN型）
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 流路材质 | PFA + PTFE（高纯度，无颗粒） |
| 温度范围 | 0 – 180 ℃（全范围） |
| 精度 | ±0.1 K（±0.1 K，PID） |
| 真空度 | ≤ 1×10⁻⁴ Pa（真空版） |
| 流量范围 | 5 – 500 mL/min（全范围） |
| 洁净等级 | Class 100（0.3 µm ≤ 100 pc/ft³） |
| 真空接口 | NW16（可转 NW25/NW40） |
| 电源 | DC 24 V 2 A（含 100-240 V 适配器） |
| 尺寸/重量 | 200×150×45 mm，1.9 kg |
| 寿命 | 5 年（连续运行） |
三、功能亮点
- PFA/PTFE 高纯流路：无颗粒，Class 100，无金属离子溶出
- 0-180 ℃ 全温度：PID闭环，±0.1 K，药液温度微变实时捕捉
- ≤1×10⁻⁴ Pa 真空兼容：真空腔直接安装，无泄漏
- 5-500 mL/min 宽流量：单片清洗 20 mL/min，CMP 400 mL/min，一台覆盖
- 1.9 kg 超轻：A5底面积，可手提移动，通风橱内即用
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