产品资料
日本 AVC 超高真空表面分析装置
产品名称: 日本 AVC 超高真空表面分析装置
产品型号: 定制系统
产品特点: 日本 AVC 超高真空表面分析装置一款集成 LEED 衍射、奥杰分析、升温脱附分析的超高真空表面结构分析系统，专为半导体与触媒材料表征设计。
日本 AVC 超高真空表面分析装置 的详细介绍
日本 AVC 超高真空表面分析装置日本 AVC 超高真空表面分析装置这款装置是日本 AVC 针对表面科学研究开发的集成化超高真空分析系统，解决了传统分析设备功能单一、真空度不足的痛点，以模块化设计与高真空性能，为用户提供全面的材料表面表征方案。
系统集成 LEED/AES 质量分析仪，可实现低能电子衍射（LEED）与俄歇电子能谱（AES）分析，同时配备四重极质量分析计用于升温脱附分析，支持半导体、模型触媒等材料的表面结构与成分表征。蒸发源采用超高真空蒸发器 AEV 系列，可实现金属薄膜制备；氢裂解枪同样采用 AEV 系列，适配表面处理实验需求。
样品加热采用直接通电加热线式（TC 接触式样品支架），样品搬运机支持 X,Y,Z,θ 及面内回转轴的 5 轴操作，实现样品的多自由度精准定位。分析室真空度可达 10⁻⁸Pa（TMP 排气），可选 IP 排气系统实现 10⁻⁹Pa 超高真空；试样加载锁定装置标准配备，确保样品转移过程的真空密封性。燃气引入系采用高精度可变泄漏阀，可精确控制实验气体流量；超高真空排气控制系统支持全自动排气控制，通过触摸面板实现便捷操作。
核心性能与优势
多分析功能集成：同时支持 LEED 衍射、AES 分析、升温脱附分析与金属薄膜制备，一站式完成材料表面表征。
超高真空性能：分析室真空度可达 10⁻⁸Pa，可选配 IP 排气系统实现 10⁻⁹Pa，满足高洁净度实验需求。
多自由度样品操控：5 轴样品搬运机支持 X,Y,Z,θ 及面内回转，实现样品的精准定位与多角度分析。
模块化扩展设计：可根据实验需求选配蒸发源、氢裂解枪等模块，适配不同表面科学研究场景。
全自动控制：触摸面板式全自动排气控制系统，简化实验操作流程，提升实验效率。
典型应用场景
半导体材料表面结构与成分分析
模型触媒材料的 LEED/AES 表征
金属薄膜制备与表面处理实验
材料升温脱附动力学研究
核心规格一览
表格
| 项目 | 规格说明 |
|---|---|
| 表面分析系 | LEED/AES 质量分析仪 |
| 蒸发源 | 超高真空蒸发器 AEV 系列 |
| 氢裂解枪 | AEV 系列 |
| 样品加热 | 直接通电加热线式（TC 接触式样品支架） |
| 样品搬运机 | X,Y,Z,θ, 面内回转轴 5 轴操作 |
| 升温脱附分析 | 四重极质量分析计 |
| 燃气引入系 | 高精度可变泄漏阀 |
| 分析室真空度 | 10⁻⁸Pa（TMP 排气），可选 10⁻⁹Pa（IP 排气系统） |
| 排气控制 | 全自动排气控制（触摸面板） |
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