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日本 KITANO 小型磁耦合导入机

产品名称: 日本 KITANO 小型磁耦合导入机
产品型号: KTS-100/200/300
产品特点: 日本 KITANO 小型磁耦合导入机
一款专为小型真空设备设计的超高真空复合运动导入装置,支持直线 + 旋转双运动,适配微型腔体的样品定位需求。

日本 KITANO 小型磁耦合导入机 的详细介绍
日本 KITANO 小型磁耦合导入机
日本 KITANO 小型磁耦合导入机
这款导入机是日本 KITANO 针对小型真空设备与微型腔体安装需求开发的复合运动设备,解决了传统导入机体积大、无法适配狭小空间的痛点,以磁耦合驱动技术与紧凑设计,为用户提供高效的微型真空运动控制方案。
设备采用磁铁(磁耦合)驱动方式,可同时传递直线运动和旋转运动,实现复合运动控制。直线行程可选 100mm(KTS-100)、200mm(KTS-200)和 300mm(KTS-300)三种,回转角标度 30°,回转扭矩 2 千克力 / 平方厘米,直进力 3 千克力,可实现高精度的样品位置与角度调整。许容泄漏量≤1.33×10⁻¹¹ Pa・m³/ 秒,可用于超高真空领域;许容加热温度≤200℃,适配高温实验环境。

设备连接法兰尺寸为 ICF-34 FH,驱动轴径 φ6mm,整体长度根据型号不同为 231mm~431mm,结构紧凑,适配小型真空腔体安装。磁耦合驱动方式实现了与外部的真空密封,稳定运行,无机械磨损,寿命长。可选装止动机构(RS)和延长手柄(EH),实现任意距离和角度的位置定位,也提供针对厌氧性气体的专用规格,适配特殊实验环境。该设备广泛应用于小型真空腔体中样品的移动与定位,适配半导体、材料科学等领域的微型实验场景。


核心性能与优势

  • 复合运动驱动:支持直线 + 旋转双运动控制,同时实现样品的位移与角度调整。

  • 超紧凑小型设计:100/200/300mm 三种短行程,适配小型真空腔体与狭小空间。

  • 超高真空兼容:电解研磨工艺 + 低泄漏设计,泄漏量≤1.33×10⁻¹¹ Pa・m³/ 秒,适配超高真空环境。

  • 磁耦合无磨损驱动:磁体方式驱动,无机械接触磨损,实现稳定运行。

  • 可扩展定位功能:可选装止动机构和延长手柄,实现任意距离和角度的位置定位。


典型应用场景

  • 小型超高真空设备中样品的移动与定位

  • 半导体微型真空腔体内部件的直线 + 旋转复合运动控制

  • 材料科学实验中样品的短距离位移与角度调整

  • 真空镀膜、离子注入等工艺中的小型样品台驱动



核心规格一览

表格
项目KTS-100KTS-200KTS-300
直线行程100mm200mm300mm
回转角标度30°30°30°
回转扭矩2 千克力 / 平方厘米2 千克力 / 平方厘米2 千克力 / 平方厘米
直进力3 千克力3 千克力3 千克力
驱动轴径φ6mmφ6mmφ6mm
连接法兰尺寸ICF-34 FHICF-34 FHICF-34 FH
许容泄漏量≤1.33×10⁻¹¹ Pa・m³/ 秒≤1.33×10⁻¹¹ Pa・m³/ 秒≤1.33×10⁻¹¹ Pa・m³/ 秒
许容加热温度≤200℃≤200℃≤200℃


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