日本 AYUMI ML‑03M 超高真空全金属角阀

日本 AYUMI ML‑03M 超高真空全金属角阀日本 AYUMI ML‑03M 超高真空全金属角阀

设备基础规格

• 型号：ML‑03M

• 使用压力：大气压至 10 的负 8Pa 以下

• 使用温度范围：0‑300℃

• 泄漏量：6.7×10 的负 11Pa・m³/sec 以下

• 全开电导率：8.5L/sec

• 密封扭矩：5‑7N・m

• 连接法兰：ICF34

• 主体材质：SUS304

• 密封材料：OFC 无氧铜

• 波纹管材质：SUS304 成型波纹管

ML‑03M 属于全金属结构的超高真空角阀，密封部位采用铜垫片密封边缘结构，所需紧固扭矩偏小，现场装配操作更加便捷。设备支持最高 350 摄氏度烘烤处理，满足真空腔体除气工艺需求，可稳定运行在 10 的负 8Pa 以下超高真空环境。阀门磁盘支持更换，后期维护可以单独更换密封磁盘，无需整体更换阀体，降低设备使用成本。阀体本体与波纹管均采用 SUS304 不锈钢，密封件选用 OFC 无氧铜，整体材质适配真空环境，出气量低。阀门采用 ICF34 标准法兰，能够直接对接同规格真空管路，全开状态电导率可以达到 8.5L 每秒，保障管路气体流通效率。密封扭矩控制在 5 至 7 牛米，操作人员使用扭矩扳手即可完成规范安装，降低安装失误带来的漏率风险。整体结构紧凑，占用设备空间小，适配各类超高真空系统的管路通断控制，金属密封结构不存在橡胶密封件老化问题，适合长期高温工况下持续工作。

适用场景：半导体真空腔体管路控制；科研实验室超高真空设备；镀膜设备真空管路；各类需要高温烘烤的真空系统；工业超高真空装置通断管控。