日本富士科技 EBV-1NW25 电磁真空阀

日本富士科技 EBV-1NW25 电磁真空阀日本富士科技 EBV-1NW25 电磁真空阀

设备基础规格

• 型号：EBV-1NW25

• 口径：Φ25mm

• 动作方式：真空先导方式，弹簧复位

• 开放电导：1.3×10 L/s

• 泄漏量：1×10⁻⁸ Pa・m³/s 以下（阀体本体）

• 使用压力范围：大气压～10⁻⁴ Pa

• 阀体材质：SUS304

• 密封件：丁腈 O 型圈

• 轴密封：丁腈 O 型圈

• 额定电压：AC100V、AC200V、DC24V 可选

• 消耗电力：4W

• 接口形式：NW25 快装法兰

• 外形尺寸：总长 188.5mm

核心产品特性日本富士科技电磁真空阀采用真空先导驱动搭配弹簧复位结构，响应稳定可靠，断电状态下可依靠弹簧完成复位动作，保障真空管路安全。阀体整体选用 SUS304 不锈钢材质，耐腐蚀，适配多数真空工艺气体环境，密封组件采用丁腈 O 型圈，本体泄漏量控制在 1×10⁻⁸Pa・m³/s 以内，满足高真空工况的密封需求。阀门采用 NW25 快卡法兰连接，拆装便捷，便于真空管路快速装配维护。设备功耗仅 4W，运行能耗低，支持多种电压规格选型，适配不同设备电控系统。阀门导通性能良好，开放电导参数优异，气体流通阻力小，不会对真空抽速造成明显损耗。阀结构紧凑，占用空间小，可直接集成在真空腔体、真空泵管路之间。配套可选过滤器配件，阻挡管路内杂质进入阀体内，延长阀门使用寿命，降低维护频次。该阀可长期稳定工作在大气压至 10⁻⁴Pa 的宽真空区间，适用于间歇通断控制，开关动作重复性好，适合自动化真空系统的时序控制。

适用场景广泛用于半导体真空设备、真空镀膜机、真空热处理设备、实验室高真空实验装置、真空泵机组管路通断控制，也可应用于分析仪器、真空干燥等工艺，实现真空管路的自动通断切换，稳定维持腔体真空环境，满足各类高真空制程的自动化控制需求。