美国 Excel Precision 1001D 双频激光头

美国 Excel Precision 1001D 双频激光头美国 Excel Precision 1001D 双频激光头

设备基础规格

• 型号：1001D

• 类型：双频氦氖激光系统

• 拆分频率：3.4-4.0MHz

• 真空波长：632.99137nm（标称）

• 频率稳定性：2×10^-8（标称）

• 指向稳定性：预热完成后小于 0.1×10^-3 弧度

• 光束直径：6mm 典型，3mm、9mm 可选

• 激光输出功率：大于 0.2mW，小于 1mW

• 供电：15V DC，启动 2.5A，工作 1.1A

• 外形尺寸：35×13×11.5 厘米

• 信号输出：差分方波

• 最大测量速度：1.0 米 / 秒

核心产品特性这款激光头依托塞曼效应原理实现高稳定激光输出，纵向磁场使氖原子能级分裂，生成两组对称分离的激光频率，频率差值稳定，保障测量过程的精度与重复性。高分频设计支持最高 1.0m/s 的测量速度，可搭载 6 组干涉仪与接收器实现 6 轴同步测量，适配多轴联动精密检测场景。光束指向稳定性好，充分预热后光束偏移量小，降低光学测量误差。光束直径提供多规格可选，激光输出功率区间稳定，适配各类光学干涉硬件。整机体积紧凑，占用空间小，兼容品牌全系光学配件，拆分频率可按客户需求定制。采用差分方波信号输出，信号传输抗干扰能力强，适配晶圆设备、精密机床的高速位移检测，长期连续运行性能稳定。

适用场景多用于半导体晶圆步进机、FPD 设备、电子束设备、IC 检测设备、后端步进机、超精密机床等，作为激光干涉仪的光源单元，完成高精度位移、长度检测，用于设备定位校准、运动精度检测，满足半导体加工、精密机械制造的微米级测量需求。