X-Loupe ITL Mk1 晶圆颗粒检查灯

X-Loupe ITL Mk1 晶圆颗粒检查灯

X-Loupe ITL Mk1 晶圆颗粒检查灯

设备基础规格

• 机型：ITL Mk1 平台式基本款

• 散热方式：被动散热，无风扇

• 光源配置：双光源通道切换，白、绿光标配，蓝、琥珀色可选

• 调光范围：0%-100% 亮度可调

• 照射角度：可调节

• 拓展功能：支持外接相机，可脚踏、系统联动切换光源

• 核心产品特性

  ITL Mk1 采用无风扇被动散热模组设计，运行过程不会产生气流扰动，满足无尘室严苛的气流稳定要求，非常适合半导体、制药等对尘埃管控严格的生产环境。设备搭载双光源切换通道，标配白光、绿光，也可按需选配蓝光、琥珀色光源，照射角度与亮度均可自由调节，调光区间覆盖 0 至 100%，适配不同材质工件的目视检查需求。相比普通检测光源，它拥有更大的均匀照射区域，在 200×200mm 工件范围内也可以输出平直均匀的准直光场，依靠特定波长低角度打光方式，让原本难以分辨的黏性灰尘颗粒、表面划痕清晰显现。设备预留拓展接口，能够外接相机用于观测和计量，支持脚踏开关或者对接产线系统切换光源，平台式结构还可加装悬臂支架夹具，灵活适配大面积工件的检测工位，兼顾桌面固定安装与支架悬挂两种使用方案，长时间检测工况下稳定性优异，可稳定检出晶圆、光罩、透明基材表面的微小污染物。

• 适用场景

  适用于无尘室内晶圆黏性颗粒检视、晶圆光罩瑕疵检查，也可用于玻璃、金属基材表面划痕与灰尘检测，精密零部件外观缺陷目视检验，同时满足 USP<790><1790>目视检测规范，适合白色底色基板这类常规照明下瑕疵难以识别的工件检测，广泛应用于半导体、生物医药、精密制造、精细印刷等洁净车间质检工序。