X-Loupe ITL Mk1 低角度灰尘检测灯
X-Loupe ITL Mk1 低角度灰尘检测灯
设备基础规格
机型:ITL Mk1 平台式基本款
散热方式:被动散热,无风扇
光源配置:双光源通道切换,白、绿光标配,蓝、琥珀色可选
调光范围:0%-100% 亮度可调
照射角度:可调节
拓展功能:支持外接相机,可脚踏、系统联动切换光源
核心产品特性
ITL Mk1 采用无风扇被动散热模组设计,运行过程不会产生气流扰动,满足无尘室严苛的气流稳定要求,非常适合半导体、制药等对尘埃管控严格的生产环境。设备搭载双光源切换通道,标配白光、绿光,也可按需选配蓝光、琥珀色光源,照射角度与亮度均可自由调节,调光区间覆盖 0 至 100%,适配不同材质工件的目视检查需求。相比普通检测光源,它拥有更大的均匀照射区域,在 200×200mm 工件范围内也可以输出平直均匀的准直光场,依靠特定波长低角度打光方式,让原本难以分辨的黏性灰尘颗粒、表面划痕清晰显现。设备预留拓展接口,能够外接相机用于观测和计量,支持脚踏开关或者对接产线系统切换光源,平台式结构还可加装悬臂支架夹具,灵活适配大面积工件的检测工位,兼顾桌面固定安装与支架悬挂两种使用方案,长时间检测工况下稳定性优异,可稳定检出晶圆、光罩、透明基材表面的微小污染物。
适用场景
适用于无尘室内晶圆黏性颗粒检视、晶圆光罩瑕疵检查,也可用于玻璃、金属基材表面划痕与灰尘检测,精密零部件外观缺陷目视检验,同时满足 USP<790><1790>目视检测规范,适合白色底色基板这类常规照明下瑕疵难以识别的工件检测,广泛应用于半导体、生物医药、精密制造、精细印刷等洁净车间质检工序。
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