适用于g线、i线抗蚀剂的芯片周边曝光用的UV-LED光源。
不仅可以安装在新装置上，而且从当前使用的UV灯光源更换也很方便。
通过搭载UV-LED，可降低耗电量、降低环境负荷、延长发光源寿命，并且不需要机械相关的消耗部件，从而大大降低客户的运行成本。
产品资料
ARK led光源芯片周边曝光用
产品名称: ARK led光源芯片周边曝光用
产品型号: EW01S
产品特点: ARK led光源芯片周边曝光用适用于g线、i线抗蚀剂的芯片周边曝光用的UV-LED光源。不仅可以安装在新装置上，而且从当前使用的UV灯光源更换也很方便。
ARK led光源芯片周边曝光用 的详细介绍
ARK led光源芯片周边曝光用
ARK led光源芯片周边曝光用
适用于g线、i线抗蚀剂的芯片周边曝光用的UV-LED光源。
不仅可以安装在新装置上，而且从当前使用的UV灯光源更换也很方便。通过搭载UV-LED，可降低耗电量、降低环境负荷、延长发光源寿命，并且不需要机械相关的消耗部件，从而大大降低客户的运行成本。
仕様
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 使用環境温度 | 5～40度（无结露。） |
| 電源電圧 | 单相100～240V |
| 電源周波数 | 50/60赫兹 |
| 发光峰值波长 | 365±5nm |
| 光出力安定度 | +/-5%以内 |
| 初期紫外線強度 | 2000mw/cm2以上（在365nm，距掩模0.5mm的距离） |
| 强度分布的均匀性 | 10%以下（4x）5mm区域） |
| 紫外線発光源 | 紫外发光二极管 |
| 紫外線発光源寿命 | 20000小时（推定寿命驱动电流最大时）※紫外线强度为初期50%以上的点灯累计时间 |
| 照射ON/OFF功能 | UV-LED的ON/OFF控制（通过远程及手动控制点亮/熄灭） |
| 光量调整机能 | UV-LED的电流调整光量调整范围为20～100% |
| 外装材質 | 不锈钢 |
| 外形寸法 | 150毫米×200毫米×192毫米 |
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