半导体制造测量超微量浓度监测水分计

半导体制造测量超微量浓度监测水分计
半导体制造测量超微量浓度监测水分计

1. 小型尺寸：采用直径为3.3毫米的压电水晶球，使得设备体积小巧。
2. 高灵敏度测量：能够按指令测量ppmv或ppbv级别的微量水分。
3. 快速测量：使用10nm厚的敏感膜，测量时间小于1秒或小于30秒。
4. 弹性表面波（SAW）技术：利用交叉状电极（IDT：Inter Digital Transducer）在表面产生弹性波，对小球赤道上喷涂的感应膜的轻微变化做出反应，实现高灵敏度传感。
5. 应用优势：适合各种测量应用，配备功能系列，实现传感器单元的小型化。高灵敏度且范围宽，即使微量的水也能检测出。高速检测利用厚度仅为10nm的感应膜，实现的高速检测。实时控制对难以控制的水含量进行实时控制。
6. 实时监测：响应速度极快，可实时监测含水量变化，可测量含水量和背景气体成分分析两项。
7. 精确测量：气体中的水浓度可以精确测量到1ppb（十亿分之一）的水平。

1. 小型尺寸：采用直径为3.3毫米的压电水晶球，使得设备体积小巧

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2. 高灵敏度测量：能够按指令测量ppmv或ppbv级别的微量水分

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3. 快速测量：使用10nm厚的敏感膜，测量时间小于1秒或小于30秒

   。
4. 弹性表面波（SAW）技术：利用交叉状电极（IDT：Inter Digital Transducer）在表面产生弹性波，对小球赤道上喷涂的感应膜的轻微变化做出反应，实现高灵敏度传感

   。
5. 应用优势：适合各种测量应用，配备功能系列，实现传感器单元的小型化

   。高灵敏度且范围宽，即使微量的水也能检测出

   。高速检测利用厚度仅为10nm的感应膜，实现的高速检测

   。实时控制对难以控制的水含量进行实时控制

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6. 实时监测：响应速度极快，可实时监测含水量变化，可测量含水量和背景气体成分分析两项

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7. 精确测量：气体中的水浓度可以精确测量到1ppb（十亿分之一）的水平

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