产品资料
半导体领域用高精度质量流量控制器流量计
产品名称: 半导体领域用高精度质量流量控制器流量计
产品型号: FCST 1000L系列
产品特点: 半导体领域用高精度质量流量控制器流量计可在半导体、太阳能电池板、燃料电池、一般产业等广泛领域使用。●高速响应[采用电磁阀]:1sec以下，流量控制范围（2～100%）覆盖在1sec以内。●高精度：±1.0％F.S以内。
半导体领域用高精度质量流量控制器流量计 的详细介绍
半导体领域用高精度质量流量控制器流量计
半导体领域用高精度质量流量控制器流量计
可在半导体、太阳能电池板、燃料电池、一般产业等广泛领域使用。
●高速响应[采用电磁阀]:1sec以下，流量控制范围（2～100%）覆盖在1sec以内。
●高精度：±1.0％F.S以内。
●金属封条和橡胶封条可供选择。
●符合RoHS标准：符合RoHS规定，是对地球环境友好的产品。
仕様
| 型号:大容量流量控制器 | FCST1005（M）升 | FCST1030（M）升 | FCST1050（M）升 |
|---|---|---|---|
| 型号：质量流量计 | FCSTM1005（M）升 | FCSTM1030（M）升 | FCSTM1050（M）升 |
| 流量（N2换算流量） | 10,20,30,50, 100，200，300，500SCCM 1，2，3，5SLM | 10,20,30SLM | 50SLM |
| 阀门动作 | NC：普通关闭 | ||
| 制御流量範囲 | 2～100％ F.S | ||
| 流量精度 | ±1%F.S（精度保证范围：15～35℃） | ±2%F.S（同左） | |
| 流量設定信号 | 0.1～5VDC | ||
| 流量出力信号 | 0～5VDC | ||
| 再现性 | ±0.2％ F.S | ||
| 応答時間 | ≦1秒 | ≦2秒 | |
| 必要差圧 | 50～300KPa | 50～300kPa(6～10SLM) 100～300KPa（11～30SLM） | 200～300KPa |
| 最大動作圧力 | 400KPa（克） | ||
| 耐圧力 | 1MPa(G) | ||
| 使用保証温度範囲 | 5～50℃ | ||
| 外部泄漏 | 金属贴纸：1×10-11帕姆3/sec He橡胶封条：1×10-7帕·米3/秒 他 | ||
| 取付姿勢 | 未指定（自由） | ||
| 供給電源電圧、消費電流 | ±15VDC：25mA、-15VDC：180mA | ||
| 接气部材质 | SUS316、磁性不锈钢、PTFE、（橡胶密封：氟橡胶或氯丁橡胶） | ||
| 密封部件材质 | 金属密封：SUS316L 橡胶密封：氟橡胶或氯丁橡胶 | ||
| 执行器方式 | 螺线管执行器 | ||
| 表面処理 | 机械加工精整 | ||
| 接続継手 | 1/4インチUJR、1/4インチF900、1.5W-Seal（オプション） | ||
可在半导体、太阳能电池板、燃料电池、一般产业等广泛领域使用。
●高速响应[采用电磁阀]:1sec以下，流量控制范围（2～100%）覆盖在1sec以内。
●高精度：±1.0％F.S以内。
●金属封条和橡胶封条可供选择。
●符合RoHS标准：符合RoHS规定，是对地球环境友好的产品。
仕様
| 型号:大容量流量控制器 | FCST1005（M）升 | FCST1030（M）升 | FCST1050（M）升 |
|---|---|---|---|
| 型号：质量流量计 | FCSTM1005（M）升 | FCSTM1030（M）升 | FCSTM1050（M）升 |
| 流量（N2换算流量） | 10,20,30,50, 100，200，300，500SCCM 1，2，3，5SLM | 10,20,30SLM | 50SLM |
| 阀门动作 | NC：普通关闭 | ||
| 制御流量範囲 | 2～100％ F.S | ||
| 流量精度 | ±1%F.S（精度保证范围：15～35℃） | ±2%F.S（同左） | |
| 流量設定信号 | 0.1～5VDC | ||
| 流量出力信号 | 0～5VDC | ||
| 再现性 | ±0.2％ F.S | ||
| 応答時間 | ≦1秒 | ≦2秒 | |
| 必要差圧 | 50～300KPa | 50～300kPa(6～10SLM) 100～300KPa（11～30SLM） | 200～300KPa |
| 最大動作圧力 | 400KPa（克） | ||
| 耐圧力 | 1MPa(G) | ||
| 使用保証温度範囲 | 5～50℃ | ||
| 外部泄漏 | 金属贴纸：1×10-11帕姆3/sec He橡胶封条：1×10-7帕·米3/秒 他 | ||
| 取付姿勢 | 未指定（自由） | ||
| 供給電源電圧、消費電流 | ±15VDC：25mA、-15VDC：180mA | ||
| 接气部材质 | SUS316、磁性不锈钢、PTFE、（橡胶密封：氟橡胶或氯丁橡胶） | ||
| 密封部件材质 | 金属密封：SUS316L 橡胶密封：氟橡胶或氯丁橡胶 | ||
| 执行器方式 | 螺线管执行器 | ||
| 表面処理 | 机械加工精整 | ||
| 接続継手 | 1/4インチUJR、1/4インチF900、1.5W-Seal（オプション） | ||
可在半导体、太阳能电池板、燃料电池、一般产业等广泛领域使用。
●高速响应[采用电磁阀]:1sec以下，流量控制范围（2～100%）覆盖在1sec以内。
●高精度：±1.0％F.S以内。
●金属封条和橡胶封条可供选择。
●符合RoHS标准：符合RoHS规定，是对地球环境友好的产品。
仕様
| 型号:大容量流量控制器 | FCST1005（M）升 | FCST1030（M）升 | FCST1050（M）升 |
|---|---|---|---|
| 型号：质量流量计 | FCSTM1005（M）升 | FCSTM1030（M）升 | FCSTM1050（M）升 |
| 流量（N2换算流量） | 10,20,30,50, 100，200，300，500SCCM 1，2，3，5SLM | 10,20,30SLM | 50SLM |
| 阀门动作 | NC：普通关闭 | ||
| 制御流量範囲 | 2～100％ F.S | ||
| 流量精度 | ±1%F.S（精度保证范围：15～35℃） | ±2%F.S（同左） | |
| 流量設定信号 | 0.1～5VDC | ||
| 流量出力信号 | 0～5VDC | ||
| 再现性 | ±0.2％ F.S | ||
| 応答時間 | ≦1秒 | ≦2秒 | |
| 必要差圧 | 50～300KPa | 50～300kPa(6～10SLM) 100～300KPa（11～30SLM） | 200～300KPa |
| 最大動作圧力 | 400KPa（克） | ||
| 耐圧力 | 1MPa(G) | ||
| 使用保証温度範囲 | 5～50℃ | ||
| 外部泄漏 | 金属贴纸：1×10-11帕姆3/sec He橡胶封条：1×10-7帕·米3/秒 他 | ||
| 取付姿勢 | 未指定（自由） | ||
| 供給電源電圧、消費電流 | ±15VDC：25mA、-15VDC：180mA | ||
| 接气部材质 | SUS316、磁性不锈钢、PTFE、（橡胶密封：氟橡胶或氯丁橡胶） | ||
| 密封部件材质 | 金属密封：SUS316L 橡胶密封：氟橡胶或氯丁橡胶 | ||
| 执行器方式 | 螺线管执行器 | ||
| 表面処理 | 机械加工精整 | ||
| 接続継手 | 1/4インチUJR、1/4インチF900、1.5W-Seal（オプション） | ||
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