高耐腐蚀性石英玻璃制热式微小液体流量计

通过将热式MEMS传感器与耐腐蚀性高的石英玻璃制流路组合，实现了以往测量方式难以再现的高测量的数mL/min的微小液体流量的测量。

开发理念是不易受流体状态变化（气泡、脉动、流体温度等）的影响，易于对测量对象流体进行校正（通过流体的热传导率进行校正）的易用性。通过替代泵转速、重量测量、流体供给时间管理等方法，替换为瞬间流量等。通过测量累计流量，可以基于更可靠的测量数值进行制造工序的质量管理和工序异常检测。

製品紹介動画

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0.可测量1mL/分钟

采用了利用MEMS传感技术的热式测量原理，实现了以往难以稳定测量的数mL/min的微小流量测量。

（计测流量范囲：0.1～10mL/min、0.3～30mL/min、0.5～50mL/min）

小型・轻便，安装简单

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与传统产品相比，体积更小。变得更轻了。

也不需要单独放置的转换器（放大器）。

使用附带的安装支架，可以从上面（水平配管时）轻松安装。

也可以安装在垂直管道上（流向：下→上）。

直接喝路径

由于是直接流路，压力损失较小，且无积液，清洗性优异。

高通用性

符合IP65防护结构标准。

由于产品外表面不使用任何金属材料，因此即使在受到液体飞溅的环境中也能使用，提高了对腐蚀性流体的耐性。

接液部采用石英玻璃（流路）由氟树脂（接头）构成，传感器不接触液体，因此适用于各种流体（石英玻璃等）。可用于防止氟树脂腐蚀的流体中。

与现有产品的比较

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F7M的测量原理

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修正前和修正后的输出特性

测量范围是流体的热传导率。受密度影响而变化，但可以通过校正功能调整输出特性。

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