高耐腐蚀性石英玻璃制热式微小液体流量计

高耐腐蚀性石英玻璃制热式微小液体流量计‍
高耐腐蚀性石英玻璃制热式微小液体流量计

1. 测量性能
• 量程：0.1 – 10 mL/min（最小可稳定读出 0.1 mL/min）
• 精度：±5 % RD（15 – 35 °C 范围内）
• 原理：MEMS 热式 —— 芯片加热器散热量随流量变化，外侧两枚温度传感器计算温差→直接换算成流量，响应 < 1 s。
2. 高耐腐蚀结构
• 接液部：高纯度石英玻璃（流路）+ 含氟树脂（接头）；传感器元触液体，可耐受酸、碱、有机溶剂、电解液等强腐蚀性介质 。
• 防护：整机 IP65，表面无金属裸露，可在液体飞沫环境长期工作。
3. 直线流路设计
• 无旁通、无旋转部件 → 死体积 < 30 µL，气泡易通过，不易积液；CIP/SIP 友好，压力损失 < 5 kPa（10 mL/min 水）。
4. 输出与接口
• 瞬时 + 累计流量同时显示；
• 模拟 4-20 mA / 0-5 V + 脉冲 + RS-485 Modbus-RTU；
• 事件功能：空管、气泡混入、脉动超限实时报警。
5. 安装方式
• 机身 80 g，单手持握；附带支架，可水平/垂直配管，无需额外放大器。
• 电源 12-24 V DC，功耗 < 0.5 W，可直接嵌入半导体湿法、医药微反应器、电池电解液注液等机台。
6. 典型应用
• 半导体/面板：HF、H₂SO₄ 等强酸清洗液微量补给
• 医药微反应器：API 合成中 0.5-5 mL/min 催化剂进料
• 电池工厂：电解液注液头流量监控，替代称重+时间法，提升数据可靠性。