半导体制造用PFA制小型卡曼涡流流量计

半导体制造用PFA制小型卡曼涡流流量计半导体制造用PFA制小型卡曼涡流流量计

1. 结构简单：流路中只有涡流发生器和涡流检测器，结构简单，压力损失小，不易漏液。
2. 检测器不与液体相接：因此适合用于各种液体工艺流程的监控，机身材质采用PFA，无粒子。
3. 适用于全球规格：获得CE标志认证。
4. 接液部分采用聚四氟乙烯材质：无O环，适合用于半导体工艺流程中液体流量的监控。
5. 可靠性、耐用性良好：没有可移动部分，不会因安装姿势而产生误差。
6. 内置温度传感器：在有液体通过时，实现了液体温度的可监测性，通过温度补偿减少了因液温变化而产生的精度误差。
7. 防水性相当于IP 65等级：电源为12-24VDC单电源驱动。

1. 结构简单：流路中只有涡流发生器和涡流检测器，结构简单，压力损失小，不易漏液。
2. 检测器不与液体相接：因此适合用于各种液体工艺流程的监控，机身材质采用PFA，无粒子

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3. 适用于全球规格：获得CE标志认证。
4. 接液部分采用聚四氟乙烯材质：无O环，适合用于半导体工艺流程中液体流量的监控

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5. 可靠性、耐用性良好：没有可移动部分，不会因安装姿势而产生误差。
6. 内置温度传感器：在有液体通过时，实现了液体温度的可监测性，通过温度补偿减少了因液温变化而产生的精度误差

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7. 防水性相当于IP 65等级：电源为12-24VDC单电源驱动

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