非接触式高精度工艺稳定型红外温度计
如果样品位于真空室中可以从室外通过窗口对样品进行温度测量。
在FPD生产过程中对液晶衬底的表面温度进行测量时由于是非接触式测量,物体表面不会被损坏。
在抛光过程中进行温度控制时由于是非接触式测量,物体表面不会被损坏。
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