腐蚀性气体测量高速响应小型CRDS微量水分计

腐蚀性气体测量高速响应小型CRDS微量水分计

腐蚀性气体测量高速响应小型CRDS微量水分计

高精度测量

• 宽量程：可测量12 ppbv至20 ppmv（-100至-55℃露点）的微量水分。
• 高精度：系统精度为±4%或±12 ppbv，以较大值为准。

高速响应

• 快速响应：对于50 ppbv至1000 ppbv的水分变化，响应时间约60秒（90%响应）。

长期稳定性与耐腐蚀性

• 耐腐蚀性：传感器部分采用耐腐蚀材料，适合测量腐蚀性气体。
• 长期稳定性：采用CRDS技术，不依赖激光功率，具有长期测量可靠性。

小型化与便携性

• 小型设计：检测部（腔）小型化，便于携带和安装。
• 分离式设计：传感器部分和监测部分可分离，便于远程监控和灵活安装。

测量原理

• CRDS技术：基于光腔衰荡光谱法（CRDS），通过测量光在腔内的衰减时间来直接计算水分含量。

应用场景

• 半导体行业：适用于半导体制造中的高纯气体微量水分测量。
• 其他工业应用：还可用于锂离子电池、全固态电池、双电层电容器、有机电致发光、平板显示器等领域的微量水分测量。

技术参数

• 样气温度：5至60℃。
• 样气流量：<2.0 L/min。
• 样气压力：86至106 kPaA。
• 输出功能：支持4-20mA、0-5VDC的模拟输出，以及RS-232C的数字输出。
• 电源：AC适配器（100-240V，50/60Hz，最大1.4A）。
• 尺寸与重量：传感器部分约5kg，监测部分约1.7kg。

用户友好设计

• LCD显示屏：配备LCD显示屏，操作界面友好，易于使用。
• 灵活安装：支持多种安装方式，包括台式、壁挂式。

高精度测量

• 宽量程：可测量12 ppbv至20 ppmv（-100至-55℃露点）的微量水分

  。
• 高精度：系统精度为±4%或±12 ppbv，以较大值为准

  。

高速响应

• 快速响应：对于50 ppbv至1000 ppbv的水分变化，响应时间约60秒（90%响应）

  。

长期稳定性与耐腐蚀性

• 耐腐蚀性：传感器部分采用耐腐蚀材料，适合测量腐蚀性气体

  。
• 长期稳定性：采用CRDS技术，不依赖激光功率，具有长期测量可靠性

  。

小型化与便携性

• 小型设计：检测部（腔）小型化，便于携带和安装

  。
• 分离式设计：传感器部分和监测部分可分离，便于远程监控和灵活安装

  。

测量原理

• CRDS技术：基于光腔衰荡光谱法（CRDS），通过测量光在腔内的衰减时间来直接计算水分含量

  。

应用场景

• 半导体行业：适用于半导体制造中的高纯气体微量水分测量

  。
• 其他工业应用：还可用于锂离子电池、全固态电池、双电层电容器、有机电致发光、平板显示器等领域的微量水分测量

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技术参数

• 样气温度：5至60℃

  。
• 样气流量：<2.0 L/min

  。
• 样气压力：86至106 kPaA

  。
• 输出功能：支持4-20mA、0-5VDC的模拟输出，以及RS-232C的数字输出

  。
• 电源：AC适配器（100-240V，50/60Hz，最大1.4A）

  。
• 尺寸与重量：传感器部分约5kg，监测部分约1.7kg

  。

用户友好设计

• LCD显示屏：配备LCD显示屏，操作界面友好，易于使用

  。
• 灵活安装：支持多种安装方式，包括台式、壁挂式

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