精密加工晶圆检测纳米表面粗糙度检测仪

精密加工晶圆检测纳米表面粗糙度检测仪
精密加工晶圆检测纳米表面粗糙度检测仪

纳米七的光学结构以光异质干扰为测量原理，分析并测量从两束之间的相位差获得的电信号。安装时无需使用防振台或真空设备，可实现高分辨率0.1nm以下。几乎没有消耗品，运营成本也很低。纳米七的光学结构以光异质干扰为测量原理，分析并测量从两束之间的相位差获得的电信号。安装时无需使用防振台或真空设备，可实现高分辨率0.1nm以下。几乎没有消耗品，运营成本也很低。纳米七的光学结构以光异质干扰为测量原理，分析并测量从两束之间的相位差获得的电信号。安装时无需使用防振台或真空设备，可实现高分辨率0.1nm以下。几乎没有消耗品，运营成本也很低。纳米七的光学结构以光异质干扰为测量原理，分析并测量从两束之间的相位差获得的电信号。安装时无需使用防振台或真空设备，可实现高分辨率0.1nm

• 缩短测量时间——Ra数秒测量，提高成品率

• 低价格设定：维护保养也很容易，几乎不需要消耗品。

• 无需防振台，无需选择安装地点

• 非接触测量——利用激光进行非接触测量

• 広範囲計測︓⼤型試料でも多点⾃動計測可能

• 简单操作︓测量・保存结果・レポート出⼒まで全⾃動

• 高分辨率：采用光外差干涉法实现的0.1nm分辨率

以下。几乎没有消耗品，运营成本也很低。