半导体分析用紧凑型全真空电磁式真空阀

半导体分析用紧凑型全真空电磁式真空阀

半导体分析用紧凑型全真空电磁式真空阀

旋泵专用 · 电磁瞬时关断 · 零油逆流 · 紧凑 A5 尺寸
响应 < 10 ms · 寿命 10⁷ 次 · 真空侧

一、产品定位

• 旋泵专用：油旋片泵、活塞泵、滑阀泵停机瞬间防止油雾逆流
• 电磁瞬时关断：< 10 ms 响应，断电即锁死，真空腔零油污染
• 紧凑型：A5 纸尺寸，可直接贴泵体安装，不额外占地
• 零油逆流：真空侧保持洁净，适合分析、半导体、实验室真空系统

二、核心技术参数（AYUMI 电磁真空阀）

三、功能亮点

1. < 10 ms 瞬时关断：断电瞬间锁死，零油雾逆流，真空腔无油污染
2. >10⁷ 次寿命：真空专用电磁线圈，连续开关无磨损
3. 全真空范围：1×10⁻³ Pa → 大气压，不卡死、不漏气
4. A5 紧凑尺寸：贴泵体安装，不额外占地，适合小型泵
5. 真空侧：316L + FKM，无油润滑，Class 100 兼容
6. DC 12 V / 24 V 可选：直接接泵电源，无需额外变压器

四、典型应用接线图

旋片泵 + AYUMI 电磁阀┌─ 真空腔 ─┐│           │进口← 电磁阀 ← 旋片泵│           │└─ 回大气 ──┘

• 电磁阀线圈与泵电源并联（DC 24 V）
• 泵断电 → 阀瞬时关断 < 10 ms，腔体保持真空，零油逆流

五、实测数据（实验室验证）

• 旋片泵 2 L/min，断电测试 100 次
• AYUMI 电磁阀：
• 关断时间 8 ms（平均）
• 真空保持 >1 h，无油雾回流
• 寿命 >10⁷ 次（连续开关 24 h×365 d）

六、选型与配件

七、维护与可靠性

• 电磁线圈：真空专用，寿命 >10⁷ 次，免维护
• 密封圈：FKM，寿命 >5 年，可更换
• 阀体：316L，无磨损，年漂移 < 0.5 %
• 整机 2 年质保，10 年配件保障

八、结论