产品资料
科研光谱分析90-400 nm 深紫外光源D2灯
产品名称: 科研光谱分析90-400 nm 深紫外光源D2灯
产品型号: A3611S
产品特点: 科研光谱分析90-400 nm 深紫外光源D2灯深紫外 UV-VIS 光谱仪标准光源 · 190-400 nm 峰值 · 高稳定性 · 长寿命适用于半导体、LCD、科研光谱分析
科研光谱分析90-400 nm 深紫外光源D2灯 的详细介绍
科研光谱分析90-400 nm 深紫外光源D2灯
科研光谱分析90-400 nm 深紫外光源D2灯
深紫外 UV-VIS 光谱仪标准光源 · 190-400 nm 峰值 · 高稳定性 · 长寿命
适用于半导体、LCD、科研光谱分析
一、产品定位
- D2灯（Deuterium Lamp）：190-400 nm 深紫外标准光源
- Milas 供应：日本原厂，真空/大气双版本，高稳定性
- 应用领域：半导体膜厚、LCD 配向膜、UV-VIS 光谱仪、科研分析
- 替代型号：Hamamatsu L2D2、Heraeus D2plus、Ocean Insight DH-2000
二、核心技术参数（Milas D2灯）
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 光源类型 | 深紫外氘灯（D2 Lamp） |
| 波长范围 | 190 – 400 nm（峰值 280 nm） |
| 输出稳定性 | < ±0.1 %（10 min，恒温） |
| 启动时间 | < 5 min（至稳定） |
| 灯电流 | 300 mA（典型） |
| 灯电压 | 90 V（典型） |
| 灯寿命 | 2,000 h（真空版） / 3,000 h（大气版） |
| 真空度 | ≤ 1×10⁻⁴ Pa（真空版） |
| 大气版 | 可选（内置除尘窗） |
| 电源 | DC 12 V / 24 V（含驱动器） |
| 接口 | SMA905 / FC 光纤（真空馈通） |
| 尺寸/重量 | Φ20×70 mm，0.2 kg（灯头） |
三、功能亮点
- 190-400 nm 深紫外：适合 < 5 nm 超薄膜测定，高分辨率
- < ±0.1 % 稳定性：基线漂移 < 0.1 mAU，无需频繁校准
- 真空/大气双版本：真空度 ≤ 1×10⁻⁴ Pa，洁净室兼容
- >2,000 h 寿命：真空版 2,000 h，大气版 3,000 h
- SMA905/FC 光纤：真空馈通，即插即用，无对
- 0.2 kg 超轻：可直接贴腔体，不增加机械负载
四、典型应用系统
半导体膜厚测定┌─ 真空腔体 ─┐│ │光源← Milas D2 ← 真空馈通 SMA905│ │└─ 光谱仪 ────┘- 真空度 ≤ 1×10⁻⁴ Pa，190-400 nm 照射
- 光谱仪采集反射光谱，膜厚精度 ≤ 0.05 nm
五、实测数据（膜厚测定验证）
- 样品：SiO₂ 5 nm 薄膜，真空 1×10⁻⁴ Pa
- Milas D2 真空版：
- 稳定性 ±0.05 %（10 min）
- 膜厚重复性 0.03 nm（10 次）
- 寿命 2,000 h（真空版）
六、选型与配件
| 件号 | 说明 |
|---|---|
| Milas-D2-VAC | 真空版（≤1×10⁻⁴ Pa） |
| Milas-D2-AIR | 大气版（内置除尘窗） |
| Milas-D2-SMA | SMA905 光纤接口（真空馈通） |
| Milas-D2-DRIVER | 12 V/24 V 驱动器（含） |
七、维护与可靠性
- 灯寿命：真空版 2,000 h，大气版 3,000 h
- 光纤：真空馈通，每月清洁一次
- 驱动器：年漂移 < 0.1 %，无需校准
- 整机 2 年质保，10 年配件保障
八、结论
Milas D2灯以「190-400 nm 深紫外 + <±0.1 % 稳定性 + 真空/大气双版 + >2,000 h 寿命」四合一设计，让半导体、LCD、科研获得「深紫外、高稳定、长寿命」标准光源，是 D2 灯的「膜厚标准机」
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