产品资料
高稳定性深紫外半导体膜厚测定紫外光源氙灯
产品名称: 高稳定性深紫外半导体膜厚测定紫外光源氙灯
产品型号: A3611S
产品特点: 高稳定性深紫外半导体膜厚测定紫外光源氙灯用于半导体膜厚测定深紫外 DUV 氙灯 · 200-400 nm 峰值 · 高稳定性 < ±0.5 %半导体膜厚测定 / 反射率 / 椭圆偏振 / UV-Vis 光谱
高稳定性深紫外半导体膜厚测定紫外光源氙灯 的详细介绍
高稳定性深紫外半导体膜厚测定紫外光源氙灯
高稳定性深紫外半导体膜厚测定紫外光源氙灯
紫外光源氙灯 A3611S
用于半导体膜厚测定
深紫外 DUV 氙灯 · 200-400 nm 峰值 · 高稳定性 < ±0.5 %
半导体膜厚测定 / 反射率 / 椭圆偏振 / UV-Vis 光谱
一、产品定位
- 半导体膜厚测定：SiO₂、Si₃N₄、光刻胶、Al₂O₃、GaN 等 DUV 波段薄膜
- 深紫外氙灯：200-400 nm 峰值，适合 < 10 nm 超薄膜高分辨率
- 高稳定性：光强漂移 < ±0.5 %，满足膜厚重复性 ≤ 0.1 nm
- Milas 供应：日本原厂，真空/大气双版本，真空度 ≤ 1×10⁻⁴ Pa
二、核心技术参数（A3611S）
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 光源类型 | 深紫外氙灯（DUV-Xenon） |
| 波长范围 | 200 – 400 nm（峰值 280 nm） |
| 输出功率 | 150 mW（@ 280 nm，真空版） |
| 稳定性 | < ±0.5 %（10 min，恒温） |
| 真空度 | ≤ 1×10⁻⁴ Pa（真空版） |
| 大气版 | 可选（内置除尘窗） |
| 灯寿命 | >5,000 h（真空版） |
| 电源 | DC 24 V 2 A（含驱动器） |
| 接口 | FC/SMA905 光纤（真空馈通） |
| 尺寸/重量 | Φ25×80 mm，0.3 kg（灯头） |
三、功能亮点
- 200-400 nm DUV：深紫外波段，适合 < 10 nm 超薄膜测定
- 高稳定性 < ±0.5 %：膜厚重复性 ≤ 0.1 nm，无需频繁校准
- 真空/大气双版本：真空度 ≤ 1×10⁻⁴ Pa，洁净室兼容
- FC/SMA905 光纤：真空馈通，即插即用，无对准误差
- >5,000 h 寿命：真空版 5,000 h，大气版 8,000 h
- 0.3 kg 超轻：可直接贴腔体，不增加机械负载
紫外光源氙灯 A3611S
用于半导体膜厚测定
深紫外 DUV 氙灯 · 200-400 nm 峰值 · 高稳定性 < ±0.5 %
半导体膜厚测定 / 反射率 / 椭圆偏振 / UV-Vis 光谱
一、产品定位
- 半导体膜厚测定：SiO₂、Si₃N₄、光刻胶、Al₂O₃、GaN 等 DUV 波段薄膜
- 深紫外氙灯：200-400 nm 峰值，适合 < 10 nm 超薄膜高分辨率
- 高稳定性：光强漂移 < ±0.5 %，满足膜厚重复性 ≤ 0.1 nm
- Milas 供应：日本原厂，真空/大气双版本，真空度 ≤ 1×10⁻⁴ Pa
二、核心技术参数（A3611S）
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 光源类型 | 深紫外氙灯（DUV-Xenon） |
| 波长范围 | 200 – 400 nm（峰值 280 nm） |
| 输出功率 | 150 mW（@ 280 nm，真空版） |
| 稳定性 | < ±0.5 %（10 min，恒温） |
| 真空度 | ≤ 1×10⁻⁴ Pa（真空版） |
| 大气版 | 可选（内置除尘窗） |
| 灯寿命 | >5,000 h（真空版） |
| 电源 | DC 24 V 2 A（含驱动器） |
| 接口 | FC/SMA905 光纤（真空馈通） |
| 尺寸/重量 | Φ25×80 mm，0.3 kg（灯头） |
三、功能亮点
- 200-400 nm DUV：深紫外波段，适合 < 10 nm 超薄膜测定
- 高稳定性 < ±0.5 %：膜厚重复性 ≤ 0.1 nm，无需频繁校准
- 真空/大气双版本：真空度 ≤ 1×10⁻⁴ Pa，洁净室兼容
- FC/SMA905 光纤：真空馈通，即插即用，无对准误差
- >5,000 h 寿命：真空版 5,000 h，大气版 8,000 h
- 0.3 kg 超轻：可直接贴腔体，不增加机械负载
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