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小型高稳定性半导体膜厚测定光源氙灯
产品名称: 小型高稳定性半导体膜厚测定光源氙灯
产品型号:
产品特点: 小型高稳定性半导体膜厚测定光源氙灯日本 Milas（ミラス株式会社）供应的 A3611S 是一款专为 半导体膜厚测定（Spectroscopic Ellipsometry / Reflectometry） 设计的高稳定性 氙灯紫外点光源，输出波段覆盖 190–800 nm，在 200–400 nm 紫外区保持高辐射强度，用于 nm 级超薄光刻胶、SiO₂、SiN、Low-k、High-k、金属薄
小型高稳定性半导体膜厚测定光源氙灯 的详细介绍
小型高稳定性半导体膜厚测定光源氙灯
小型高稳定性半导体膜厚测定光源氙灯
| 项目 | 参数 / 说明 |
|---|---|
| 型 号 | A3611S（Milas Xenon Lamp House） |
| 用 途 | 半导体膜厚计、椭偏仪、反射率计的紫外-可见光源 |
| 输出波段 | 190–800 nm（185 nm 以下深紫外可选 MgF₂ 窗口） |
| 灯 类 型 | 短弧氙灯 75 W（可选 150 W 高功率版 A3612S） |
| 弧 长 | ≈ 0.5 mm，点光源设计，易耦合光纤 / 透镜 |
| 窗 口 | 高纯度合成石英（可选 MgF₂ 真空紫外窗） |
| 光 稳 定 性 | < 0.3 % CV（10 min 预热后，@ 250 nm） |
| 冷 却 方 式 | 强制风冷（内置温控风扇，无外部水冷） |
| 寿 命 | 典型 2 000 h（> 70 % 初始强度） |
| 电 源 | 专配 LPS-75X 恒功率电源，AC 100–240 V，50/60 Hz |
| 外 形 | 105 × 105 × 135 mm（灯室），可直接 30 mm 光学杆安装 |
| 重 量 | ≈ 1.8 kg（灯室） |
📈 光谱特性
- 200 nm 处辐射强度 > 40 mW mm⁻² sr⁻¹（75 W 档）
- 250–350 nm 波段无显著汞线，连续谱适合薄膜干涉拟合
- 可见区 450–700 nm 亦保持平滑连续谱，支持多波长椭偏算法
🔌 配套接口
| 接口类型 | 说明 |
|---|---|
| SMA905 | 标配 600 µm 石英光纤跳线，NA = 0.22，长度 1 m（可 2/3 m） |
| FC/PC | 可选，适合与 Ocean Insight、Horiba、J.A. Woollam 光谱仪直连 |
| 自由空间 | 30 mm 笼式系统兼容，可加装 Φ 25 mm 透镜组 |
📦 标准配置清单
- A3611S 灯室（含 75 W 氙灯，石英窗）
- LPS-75X 恒功率电源（带 RS-232C 遥控）
- 灯-电源互联电缆 2 m
- SMA905 石英光纤 1 m
日本 Milas（ミラス株式会社）供应的 A3611S 是一款专为 半导体膜厚测定（Spectroscopic Ellipsometry / Reflectometry） 设计的高稳定性 氙灯紫外点光源，输出波段覆盖 190–800 nm，在 200–400 nm 紫外区保持高辐射强度，用于 nm 级超薄光刻胶、SiO₂、SiN、Low-k、High-k、金属薄膜 的在线或离线厚度解析。日本 Milas（ミラス株式会社）供应的 A3611S 是一款专为 半导体膜厚测定（Spectroscopic Ellipsometry / Reflectometry） 设计的高稳定性 氙灯紫外点光源，输出波段覆盖 190–800 nm，在 200–400 nm 紫外区保持高辐射强度，用于 nm 级超薄光刻胶、SiO₂、SiN、Low-k、High-k、金属薄膜 的在线或离线厚度解析。
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