半导体厂多路 ppb 连续监视气体检测仪

半导体厂多路 ppb 连续监视气体检测仪

半导体厂多路 ppb 连续监视气体检测仪

1 台主机多可挂载 5 个不同气体传感器头（半导体级）通过电磁阀自动循环切换，实现 多路 / 多点 / 多气体 连续监视目标：SiH₄、PH₃、AsH₃、B₂H₆、H₂Se、HCl、Cl₂、NH₃、HF 等 ppb 级毒性气体适用于 晶圆厂 Gas Box、Y-Piece、阀门分配箱（VMB） 及 CVD / 刻蚀 / 离子注入工艺段

• 检测原理：
• 电化学式（EC）：SiH₄、PH₃、AsH₃、B₂H₆、H₂Se、HCl、Cl₂、NH₃、HF
• 半导体式（SC）：H₂（0–1000 ppm，用于泄漏背景补偿）
• 检测范围（示例）：
  SiH₄ 0–500 ppb / 1 ppb 分辨率
  PH₃ 0–200 ppb / 1 ppb
  AsH₃ 0–100 ppb / 0.5 ppb
  HCl 0–5 ppm / 10 ppb
• 响应时间 T90：≤ 30 s（采样距离 10 m 以内）
• 报警输出：
  独立 3 段（HIGH / HIGH HIGH / STEL-TWA），继电器 1 A×3，可联锁 Shut-valve
• 自我诊断：传感器断线、流量低、阀门异常、泵寿命倒计时
• 校准：内置电磁阀切换零气 / 量程气，无需拆头，30 s 完成两点校准
• 防护：IP65，Ex db eb ib IIC T4（可选氢气防爆）
• 电源：DC 24 V ±10 %，功耗 15 W（泵 + 阀）
• 尺寸／重量：XPS-7  194 W×240 H×95 D mm，2.8 kg

• 检测原理：
• 电化学式（EC）：SiH₄、PH₃、AsH₃、B₂H₆、H₂Se、HCl、Cl₂、NH₃、HF
• 半导体式（SC）：H₂（0–1000 ppm，用于泄漏背景补偿）
• 检测范围（示例）：
  SiH₄ 0–500 ppb / 1 ppb 分辨率
  PH₃ 0–200 ppb / 1 ppb
  AsH₃ 0–100 ppb / 0.5 ppb
  HCl 0–5 ppm / 10 ppb
• 响应时间 T90：≤ 30 s（采样距离 10 m 以内）
• 报警输出：
  独立 3 段（HIGH / HIGH HIGH / STEL-TWA），继电器 1 A×3，可联锁 Shut-valve
• 自我诊断：传感器断线、流量低、阀门异常、泵寿命倒计时
• 校准：内置电磁阀切换零气 / 量程气，无需拆头，30 s 完成两点校准
• 防护：IP65，Ex db eb ib IIC T4（可选氢气防爆）
• 电源：DC 24 V ±10 %，功耗 15 W（泵 + 阀）
• 尺寸／重量：XPS-7  194 W×240 H×95 D mm，2.8 kg