小型液体单晶圆喷淋用液体监测流量计

小型液体单晶圆喷淋用液体监测流量计

小型液体单晶圆喷淋用液体监测流量计

1. “清洗机、冲洗枪、单晶圆喷淋"专用超小型液体流量计，

• 通径 6 mm / 10 mm / 15 mm 三种，
• 全长仅 55 mm（6 mm 型），
• 质量 45 g，
• 可 360 ° 旋转表头，
• 即插即用 4-20 mA + 脉冲双输出，
• 纯水→强碱（NaOH 50 %）全材质对应

检测原理：法拉第电磁感应（无电极突出，抗气泡）衬里／接液：VN-W：PPS 衬里 + SUS316L 电极（纯水、去离子水）VN-C：PFA 衬里 + 钛电极（碳氢、酒精、燃料）VN-S：陶瓷测量管 + 钛电极（NaOH、KOH、HF、H₂O₂）口径／流量范围：6 mm：0.15 – 15 L min⁻¹10 mm：0.4 – 40 L min⁻¹15 mm：1 – 100 L min⁻¹精度：±1.0 % RD（15 L min⁻¹ 以上）/ ±0.015 L min⁻¹（小流量）重复性：±0.2 % RD响应时间：≤ 100 ms（T90，50 Hz 输出更新）输出：脉冲（开集，0-1 kHz）+ 隔离 4-20 mA（三线）电源：DC 12 – 24 V ±10 %，功耗 0.8 W使用温度：液体 0 – 70 ℃（VN-S 陶瓷 0 – 100 ℃）耐压：1.0 MPa（常温）连接方式：入/出口相同：Rc 3/8″、1/2″、3/4″ 内螺纹；可选快拧、倒钩软管接头全长 55 mm（6 mm 型）/ 65 mm（10 mm）/ 75 mm（15 mm）防护：IP65（表头旋转锁紧后）重量：45 g（6 mm）/ 60 g（10 mm）/ 80 g（15 mm）清洗行业安装优点长度 55 mm，可塞进单晶圆清洗手臂，无惧空间干涉表头 360 ° 旋转，布线不扭结无前后直管段要求（0D/0D），贴近喷淋阀安装也能保证 1 % 精度接液部无电极突出，DI 水/臭氧水不易积气泡陶瓷型 VN-S 可 100 ℃ 热碱液，SPM 清洗后热水冲洗段照常使用选型速查| 液体 | 温度 | 推荐型号 | 接液材质 ||------|------|----------|----------|| 18 MΩ DI 水 | 25 ℃ | VN-W-6 | PPS+SUS316L || IPA 碳氢 | 40 ℃ | VN-C-10 | PFA+Ti || NaOH 5 % | 80 ℃ | VN-S-15 | 陶瓷+Ti || HF 0.5 % | 60 ℃ | VN-S-10 | 陶瓷+Ti |输出接线（4 线）红：+12-24 V黑：0 V绿：4-20 mA +白：脉冲输出（开集）价格 & 交期（2025-Q3）VN-W-6 Rc3/8：JPY 38 000（≈ 0.18 万 RMB）VN-S-10 Rc1/2：JPY 58 000国内现货 1-2 周；软管倒钩型 3 周总结VN 型把电磁流量传感做到 55 mm 长、45 g 重，360 ° 旋转表头 + 0D 直管段 + 4-20 mA/脉冲双输出，纯水-强碱全材质覆盖，是单晶圆清洗臂、冲洗枪、小型循环机“即插即用"的流量监测。纯水-强碱全材质覆盖，是单晶圆清洗臂、冲洗枪、小型循环机“即插即用"的流量监测纯水-强碱全材质覆盖，是单晶圆清洗臂、冲洗枪、小型循环机“即插即用"的流量监测