多级罗茨无油反向扩散结构干式真空泵

多级罗茨无油反向扩散结构干式真空泵

多级罗茨无油反向扩散结构干式真空泵

1. 结构特点

• 多级罗茨转子无接触、无油，省略同步齿轮，维护周期＞20 000 h
• 反向扩散流路：气体在泵腔内折返流动，可凝蒸气被回流冷气连续稀释，显著降低凝结与腐蚀，提高耐化学耐久性
• 回流冷却系统：每级压缩后通过水冷夹套冷却，排气温度＜115 °C，减少聚合物/药液热分解沉积，延长清洗间隔

2. 高排气速度（50 Hz 数据）
   | 型号 | 抽速 (m³/h) | 极限压力 (Pa) | 最大反压 (kPa) | 接口 ||----|-------------|---------------|----------------|------|| TS100 | 96 | 10 | 6 | NW50 || TS220 | 220 | 5 | 8 | VG65 || TS300 | 300 | 3 | 10 | VG65 || TS600 | 600 | 1 | 15 | VG100 |

3. 无油 & 清洁

• 泵腔无油，无碳片/无润滑脂，排气侧无油雾回流，满足半导体、面板厂对洁净真空的要求
• 可选氮气吹扫口与排气消音器，用于粉尘或腐蚀性气体工艺，减少维护频率

4. 节能 & 噪音

• 变频直连电机（可选），根据负荷自动降速，比传统单级罗茨节电 15–25 %
• 无齿轮啮合，运行噪音 ≤ 72 dB(A)@1 m，无需隔音罩即可放在洁净室楼下机房

5. 典型应用

• 半导体：CVD、ALD、刻蚀腔真空泵，可长期抽含 SiCl₄、NH₃、HF 蒸气而不卡死
• 光伏：PERC/TopCon 刻蚀、PECVD 工段，抗 SiN 粉尘反扩散
• 化工 & 制药：溶剂蒸馏、干燥、结晶，可冷凝甲苯、DMF 等有机蒸气并在线回收

6. 选型 & 订货

• 标准品 50 Hz / 60 Hz 通用，TS100–TS600 现货 2–3 周；
• 若需更高真空 (<0.5 Pa)，可后接机械增压泵 (TE 系列) 组成干式机组，极限 10⁻² Pa 级

1. 结构特点

• 多级罗茨转子无接触、无油，省略同步齿轮，维护周期＞20 000 h
• 反向扩散流路：气体在泵腔内折返流动，可凝蒸气被回流冷气连续稀释，显著降低凝结与腐蚀，提高耐化学耐久性
• 回流冷却系统：每级压缩后通过水冷夹套冷却，排气温度＜115 °C，减少聚合物/药液热分解沉积，延长清洗间隔

2. 高排气速度（50 Hz 数据）
   | 型号 | 抽速 (m³/h) | 极限压力 (Pa) | 最大反压 (kPa) | 接口 ||----|-------------|---------------|----------------|------|| TS100 | 96 | 10 | 6 | NW50 || TS220 | 220 | 5 | 8 | VG65 || TS300 | 300 | 3 | 10 | VG65 || TS600 | 600 | 1 | 15 | VG100 |

3. 无油 & 清洁

• 泵腔无油，无碳片/无润滑脂，排气侧无油雾回流，满足半导体、面板厂对洁净真空的要求
• 可选氮气吹扫口与排气消音器，用于粉尘或腐蚀性气体工艺，减少维护频率

4. 节能 & 噪音

• 变频直连电机（可选），根据负荷自动降速，比传统单级罗茨节电 15–25 %
• 无齿轮啮合，运行噪音 ≤ 72 dB(A)@1 m，无需隔音罩即可放在洁净室楼下机房

5. 典型应用

• 半导体：CVD、ALD、刻蚀腔真空泵，可长期抽含 SiCl₄、NH₃、HF 蒸气而不卡死
• 光伏：PERC/TopCon 刻蚀、PECVD 工段，抗 SiN 粉尘反扩散
• 化工 & 制药：溶剂蒸馏、干燥、结晶，可冷凝甲苯、DMF 等有机蒸气并在线回收

6. 选型 & 订货

• 标准品 50 Hz / 60 Hz 通用，TS100–TS600 现货 2–3 周；
• 若需更高真空 (<0.5 Pa)，可后接机械增压泵 (TE 系列) 组成干式机组，极限 10⁻² Pa 级