超高压紧凑型耐压型高压微流量自动背压阀

产品名称: 超高压紧凑型耐压型高压微流量自动背压阀

产品型号: L.TEX9220系列

产品特点: 超高压紧凑型耐压型高压微流量自动背压阀

日本 L-TEX 9220 系列是一款「节省空间・超高压・自动背压阀」，把“电机-滚珠丝杠-活塞"全部做进一个 96 mm 见方的铝壳里，最高可稳到 100 MPa，专门解决半导体/液晶清洗、超临界萃取、高压计量泵等场合的“小流量、高压力、背压不稳"痛点。一句话：用比减压阀还小的体积，实现背压阀的超高精度与耐压。核心信息如下：

超高压紧凑型耐压型高压微流量自动背压阀 的详细介绍

超高压紧凑型耐压型高压微流量自动背压阀

日本 L-TEX 9220 系列是一款「节省空间・超高压・自动背压阀」，把“电机-滚珠丝杠-活塞"全部做进一个 96 mm 见方的铝壳里，最高可稳到 100 MPa，专门解决半导体/液晶清洗、超临界萃取、高压计量泵等场合的“小流量、高压力、背压不稳"痛点。一句话：用比减压阀还小的体积，实现背压阀的超高精度与耐压。核心信息如下：

压力规格

控制范围：0.5–100 MPa（5 段量程弹簧可选，出厂标定）
重复精度：≤ ±0.2 % F.S.（实测 70 MPa 点 10 万次循环漂移＜0.05 MPa）
耐压：150 MPa（阀体 316L 整体锻打，无焊缝）
泄漏率：≤ 1×10⁻⁹ Pa·m³/s（He 检漏，金属面密封）

流量与介质

Cv 值：0.06 / 0.15 / 0.3 三档阀芯可换，最小可控流量 5 mL/min
介质：纯水、DI-water、超临界 CO₂、氟化液、H₂O₂、IPA 等（接液 316L + PCTFE/PEEK 密封圈可选）
温度：0–90 ℃（标准 Viton），高温型 150 ℃（全 PTFE 弹簧腔）

驱动与信号

电机：24 V DC 步进电机 + 滚珠丝杠，行程 8 mm，全行程时间 2 s
反馈：内置 0–10 V 压力传感器（精度 ±0.1 %），同时输出 4–20 mA & RS-485（Modbus RTU）
功耗：最大 18 W，稳态 3 W，可 100 % 连续工作

体积与安装

本体：96 × 96 × 120 mm（不含接头），重量 2.8 kg，面板或支架任意方向
接口：1/4" HP 锥螺纹（Swagelok 60°）或 9/16"-18 UNF 超高压平口，可 360° 旋转接管
防护：IP54 正面，电子腔灌胶，可在机台内部密集并排安装，节省 50 % 以上空间

典型用法

高压计量泵后做“虚拟背压"——替代传统手调背压阀 + 压力表，闭环精度高 10 倍
单晶圆清洗机：100 MPa 微射流喷嘴前稳压，防止泵脉动造成流量跳档
超临界 CO₂ 萃取：背压 30–80 MPa 区间 0.1 MPa 步进，提高萃取效率 15 %
高压反应釜：作为“泄压/背压"两用，远程设定即可切换

选型提示

若流量＞3 L/min 或管径≥3/8"，请选 9230 系列（Cv 0.6，体积 120 mm）
若控制压力＜15 MPa，可选 9210 经济型（体积 80 mm，无 RS-485）
需要防爆场合，厂家提供 9220-EX 型（ATEX II 2G Ex db IIB T4 Gb）

一句话总结：L-TEX 9220 系列把“100 MPa 超高压、±0.2 % 精度、96 mm 巴掌大"三件事同时做到，是高压微流量系统里“最省空间、最稳背压"的自动背压阀。

压力规格

控制范围：0.5–100 MPa（5 段量程弹簧可选，出厂标定）
重复精度：≤ ±0.2 % F.S.（实测 70 MPa 点 10 万次循环漂移＜0.05 MPa）
耐压：150 MPa（阀体 316L 整体锻打，无焊缝）
泄漏率：≤ 1×10⁻⁹ Pa·m³/s（He 检漏，金属面密封）

流量与介质

Cv 值：0.06 / 0.15 / 0.3 三档阀芯可换，最小可控流量 5 mL/min
介质：纯水、DI-water、超临界 CO₂、氟化液、H₂O₂、IPA 等（接液 316L + PCTFE/PEEK 密封圈可选）
温度：0–90 ℃（标准 Viton），高温型 150 ℃（全 PTFE 弹簧腔）

驱动与信号

电机：24 V DC 步进电机 + 滚珠丝杠，行程 8 mm，全行程时间 2 s
反馈：内置 0–10 V 压力传感器（精度 ±0.1 %），同时输出 4–20 mA & RS-485（Modbus RTU）
功耗：最大 18 W，稳态 3 W，可 100 % 连续工作

体积与安装

本体：96 × 96 × 120 mm（不含接头），重量 2.8 kg，面板或支架任意方向
接口：1/4" HP 锥螺纹（Swagelok 60°）或 9/16"-18 UNF 超高压平口，可 360° 旋转接管
防护：IP54 正面，电子腔灌胶，可在机台内部密集并排安装，节省 50 % 以上空间

典型用法

高压计量泵后做“虚拟背压"——替代传统手调背压阀 + 压力表，闭环精度高 10 倍
单晶圆清洗机：100 MPa 微射流喷嘴前稳压，防止泵脉动造成流量跳档
超临界 CO₂ 萃取：背压 30–80 MPa 区间 0.1 MPa 步进，提高萃取效率 15 %
高压反应釜：作为“泄压/背压"两用，远程设定即可切换

选型提示

若流量＞3 L/min 或管径≥3/8"，请选 9230 系列（Cv 0.6，体积 120 mm）
若控制压力＜15 MPa，可选 9210 经济型（体积 80 mm，无 RS-485）
需要防爆场合，厂家提供 9220-EX 型（ATEX II 2G Ex db IIB T4 Gb）

一句话总结：L-TEX 9220 系列把“100 MPa 超高压、±0.2 % 精度、96 mm 巴掌大"三件事同时做到，是高压微流量系统里“最省空间、最稳背压"的自动背压阀。

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