日本 FLOVEL 电动双面显微镜系统

Name: 日本 FLOVEL 电动双面显微镜系统TOMOS-80XY
Brand: 其他品牌
Price: 22222 CNY
Availability: InStock

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产品名称: 日本 FLOVEL 电动双面显微镜系统

产品型号: TOMOS-80XY

产品特点: 日本 FLOVEL 电动双面显微镜系统是搭载 200mm×200mm 电动 XY 平台的全自动双面显微镜系统，配备自动对焦功能，可预设测量点位，自动完成大尺寸晶圆、MEMS 等半导体器件的双面位置偏移、尺寸检测与自动对位，实现无人化批量检测，是大尺寸半导体制造自动化的核心检测设备。

日本 FLOVEL 电动双面显微镜系统 的详细介绍

日本 FLOVEL 电动双面显微镜系统

日本 FLOVEL TOMOS-80XY 是专为大尺寸半导体、精密零件打造的电动 XY 平台双面显微镜系统。产品搭载正立 + 倒立双 320 万像素相机，配备 200mm×200mm 大行程电动 XY 平台与自动对焦功能，可预先指定测量点位，自动完成 8 英寸及以上晶圆、MEMS、电子元件等工件的双面图案、对齐标记偏移与尺寸测量，替代人工操作，实现无人化批量检测。

系统内置智能测量算法，可自动识别各类对齐标记的边缘，精准计算中心坐标与位置偏差；支持多重精度补偿，消除工件安装与平台移动误差，保障测量结果的可靠性。Z 轴 ±10mm 行程，适配不同高度工件，自动对焦功能确保成像清晰；双白色 LED 照明支持落射、透射、混合模式，满足不同材质工件的成像需求。

设备支持双面图像叠加显示、测量结果自动输出、地图制作、配方登记等功能，可选配无需翻转工件的线宽测量功能，大幅提升检测效率；同时提供软件、样品夹持器定制服务，可根据工件形状、材料定制专属检测方案，适配特殊工件的自动化检测。

TOMOS-80XY 广泛应用于大尺寸半导体晶圆、MEMS、电子元器件等领域的自动化检测，可直接嵌入自动化产线，帮助企业实现检测全流程自动化，提升生产效率与产品质量管控水平。

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