日本 FLOVEL 电动双面显微镜系统

日本 FLOVEL  电动双面显微镜系统

日本 FLOVEL  电动双面显微镜系统

日本 FLOVEL TOMOS-60XY 是专为半导体自动化检测打造的 6 英寸电动载物台双面显微镜系统。产品搭载正立 + 倒立双 320 万像素相机，配备 150mm×150mm 电动 XY 载物台与自动对焦功能，可预先指定测量点位，自动完成水晶振子、MEMS、半导体晶圆等工件的双面图案、对齐标记偏移与尺寸测量，替代人工操作，实现无人化批量检测。

系统内置智能测量算法，可自动识别圆、方、十字等对齐标记的边缘，精准计算中心坐标与位置偏差；支持光轴、倍率、相机角度多重补偿，以及 XY 轴偏差校正、中心定位功能，消除工件安装与载物台移动误差，保障测量精度。Z 轴最大 30mm 行程，适配不同高度工件，自动对焦功能确保成像清晰。

设备支持落射、透射、混合照明，满足不同材质工件的成像需求；软件界面直观，可实现双面图像叠加显示、测量结果自动输出、地图制作、配方登记等功能，支持连续移动测量，大幅提升检测效率。同时提供软件、样品夹持器定制服务，可根据工件形状、材料定制专属检测方案，适配特殊工件的自动化检测。