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哈德森研究所热显微镜 微区热物性检测设备

产品名称: 哈德森研究所热显微镜 微区热物性检测设备
产品型号: TM3 系列
产品特点: 哈德森研究所热显微镜 微区热物性检测设备
日本哈德森研究所 TM3 系列热显微镜,专为薄膜和微小区域的热渗透率测量设计,采用 3μm 检测光斑实现非接触式高分辨率热物性分析,支持点、线、面多模式测量,可检测薄膜下裂纹、空洞和剥离,适用于从薄膜、多层膜到块状材料的广泛检测场景。

哈德森研究所热显微镜 微区热物性检测设备 的详细介绍
哈德森研究所热显微镜 微区热物性检测设备
哈德森研究所热显微镜 微区热物性检测设备
ベテルハドソン研究所作为日本专注热物性检测的专业机构,旗下 TM3 系列热显微镜,是一款实现了非接触式高分辨率热物性测量的创新设备,专为解决传统装置难以实现的微米级热物性分布测量难题而开发。
设备采用热反射法原理,通过在样品上沉积金属薄膜,利用加热激光进行周期性加热,再通过检测激光捕捉反射强度变化,测量表面相对温度变化,同时通过加热光与探测光之间的相位滞后,计算得出热渗透率,还可换算热扩散率与热导率。搭载 3μm 检测光斑直径,可实现微小区域的高精度测量,支持点、线、面多模式测量,单点测量标准时间仅 10 秒,大幅提升检测效率。
测量对象覆盖厚度数百 nm 至数十 μm 的薄膜材料,同时支持基板上的样品测量,可改变测量深度范围,适配多层膜、块状材料等不同形态。设备重复精度高,对 Pyrex、硅的热渗透率测量误差控制在 ±10% 以下,可有效检测薄膜下的裂纹、空洞和剥离,为半导体、涂层、复合材料等领域的材料研发与品质管控提供关键数据支撑。
标配试样夹具(30mm×30mm,厚度 5mm),可适配尺寸 30mm×30mm 以内、厚度 3mm 以内的板状试样,仅需对样品表面进行镜面研磨与钼溅射即可测量,制样简便。凭借独特的激光非接触测量技术,TM3 系列热显微镜实现了微米级热物性分布的可视化与数值化,是薄膜材料热性能评估与缺陷检测的专业解决方案。


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