测量厚度范围:数十 μm~8.0mm
最小显示分辨率:0.01μm(0.00001mm)
重复精度:±2σ 范围内≤±0.05μm
指示精度:0.1μm 以内
测量压力:上部≤0.55N,下部≤0.35N
测头子:超硬 φ2R 球面测头
适用工件:晶圆、玻璃、金属、薄膜、塑料薄片
通讯输出:Digimatic、RS-232C 数字输出
供电规格:AC100V±10% 50/60Hz 50VA
本体尺寸重量:W300×H520×D425mm,30kg 以内
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