日本 TYSEI TY-55100 脱气模块日本 TYSEI TY-55100 脱气模块
设备基础规格
类型:低压损型
流量范围:≤250ml/min
膜内容积:150ml
外形尺寸:Φ120×160mm
耐压:0.3MPa
最高使用温度:50℃
通液端口:FAINALLOCK 1/4 英寸
真空端口:快速接头 Φ6
接触液材质:PFA
脱气率 80% 对应流量:100ml/min
核心产品特性TY-55100 脱气模块脱气膜、端部、接合部等所有接触液体部件均采用 PFA 氟树脂材料,具备优异耐化学腐蚀性能,可耐受各类强酸、强碱与有机溶剂,不会污染处理药液,保障流体纯度。设备为低压损结构,流体输送阻力更小,适配连续在线脱气工况,运行稳定可靠。整机采用圆柱不锈钢壳体,结构紧凑,占用安装空间小,便于集成到产线管路系统。模块采用真空脱气原理,可稳定去除液体内部溶解气体,脱气效率稳定,能够满足工业生产对药液脱气的精度要求。模块化设计方便拆装维护,接头标准化,管路连接便捷。多型号系列可覆盖不同流量需求,该型号适合中等流量工况,广泛适配精密制造的药液处理流程,可长时间连续运行,降低气泡对后续工艺造成的不良影响,减少产品缺陷。
适用场景适用于半导体、FPD 平板显示器制造工艺,对清洗液、蚀刻液、光刻胶剥离液进行脱气处理;也可用于理化分析、化工领域的药液、有机溶剂、酸碱溶液脱气,同时覆盖各类精密制造行业的清洗液、涂层液、工艺处理液的在线脱气作业。
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