日本富士 MBV-ISO80SDII-M4-ARJ 真空蝶阀

日本富士 MBV-ISO80SDII-M4-ARJ 真空蝶阀日本富士 MBV-ISO80SDII-M4-ARJ 真空蝶阀

设备基础规格

• 型号：MBV-ISO80SDII-M4-ARJ

• 驱动方式：电机驱动

• 适用工况：高真空环境

• 接口规格：ISO80 法兰

• 阀体材质：不锈钢

• 密封形式：真空专用密封件

核心产品特性这款日本富士电机驱动真空蝶阀依靠电机实现蝶板开度连续调节，可拓展多样化自动控制功能，适配真空工艺的精密调控需求。阀体结构紧凑，法兰接口类型丰富，安装适配性强，设备自带稳定的密封结构，泄漏指标满足高真空环境使用，长期连续运行稳定性好，维护工作量低，适配各类真空设备自动化管路配套。阀门响应平稳，开度控制精度高，可稳定维持腔体内部压力，减少压力波动对工艺造成的影响。抗老化密封件，在反复启闭工况下依旧保持良好密封效果，减少停机检修频次。标准化法兰接口，可直接对接主流真空管路，简化现场安装调试工作，支持配套控制系统实现远程信号采集与自动调控，适配自动化产线集成使用。

适用场景广泛应用于半导体工艺、真空镀膜、材料热处理、科研真空实验等领域，用于真空腔体压力恒定控制、管路气流调节、排气流量管控，是真空工艺系统内精密压力调节的专用阀门设备。