日本 HIT HSS 系列真直度形状测量机

日本 HIT HSS 系列真直度形状测量机日本 HIT HSS 系列真直度形状测量机

设备基础规格

• 测量对象：研磨板、抛光板

• 测量精度：±5μm（恒温 20±1℃，湿度 60±5% 环境）

• 重复测量精度：±3μm

• 测量点数：标准 1000 点，最大 5000 点

• 传感器移动速度：30mm / 秒

• 数据处理时间：90 秒以内

• 传感器类型：接触式线性测头

• 传感器测量范围：0~10mm

• 传感器接触压力：150gf

• 传感器分辨率：1μm

• 测量行程：650mm~3000mm 多机型可选

核心产品特性本款 HSS 系列真直度形状测量机为日本原装精密轮廓检测设备，专为研磨板、抛光板的平面形状与真直度检测开发，支持上下板材同步检测，覆盖 650mm 至 3000mm 多种测量长度机型，适配不同尺寸的加工基板。设备采用接触式线性测头，传感器分辨率可达 1μm，在恒温恒湿标准环境下，测量精度可达 ±5μm，重复测量精度稳定在 ±3μm，HSS-1400 及以上型号搭载主轴补偿功能，进一步保障长行程测量的准确度。传感器移动速度固定为 30mm 每秒，采样点数灵活可调，标准 1000 点，最高支持 5000 点高密度采集，采集完成后 90 秒内即可完成数据运算处理，处理效率受电脑配置影响。配套专业分析软件，可在电脑端直观呈现板材截面轮廓曲线，将传统肉眼无法观测的细微形变可视化，帮助工程师直观掌握板材平直状态，实现研磨抛光工序的量化质量管控。设备结构便携模块化，可灵活部署在车间检测工位，无需复杂安装，能够长期稳定运行，持续监控研磨盘、抛光盘的形变变化，提前预判盘面磨损，减少因板材平整度缺陷带来的产品不良，有效提升半导体抛光加工的成品良率。

适用场景主要应用于半导体加工行业，用于研磨板、抛光板的平面度、真直度检测与形状管理，也可用于精密光学基板、陶瓷板材、大型金属平板的长行程轮廓测量。广泛配套晶圆抛光、精密研磨工序，用于生产过程中抛光盘磨损监测、来料质检、设备维护校准，是精密平面加工产线的质量管控设备。