日本 JSE RF-500 高频电源

日本 JSE RF-500 高频电源日本 JSE RF-500 高频电源

设备基础规格

• 工作频率：13.560MHz

• 额定输出功率：500W

• 输出可调范围：0W~500W

• 频率变动：±1kHz 以内

• 输入电源：AC100V/200V 单相

• 消耗电力：约 800W

• 输出稳定度：±1% 以内（CW 内部控制）

• 冷却方式：强制空冷

• 末级放大：MOS-FET D 类

• 外形尺寸：206 (240)×99×350mm

• 重量：约 5kg

• 核心产品特性设备搭载水晶振荡单元，保障 13.56MHz 射频信号高度稳定，功率输出波动控制在 ±1% 以内，满足等离子工艺对射频源的高精度要求。整机采用强制风冷散热方案，无需外接水冷管路，设备体积小巧，机架式结构便于集成到各类工艺腔体与实验平台。功率可在 0 至 500W 区间连续调节，适配不同工艺条件调试。内置反射保护、过压、过流、过热多重安全保护回路，出现异常时自动停机，保护电源本体与前端负载。配备外部控制接口，支持 0-5V 模拟量功率设定、数字信号启停控制，同时可实时监测正向功率与反射功率，方便上位机采集工艺数据。输出端采用 N-R 型同轴接头，射频传输损耗低，配套远程控制选件，支持远程操控。杂散信号抑制至 - 50dBc 以下，减少射频干扰，降低对周边检测仪器的影响，适配实验室与产线的复杂电磁环境。整机结构坚固，运行噪音低，长期连续工作稳定性好，适合长时间等离子工艺实验与中小批量生产使用。

• 适用场景主要用于等离子体发生相关工艺，可应用于半导体表面处理、等离子清洗、材料表面改性、纳米纤维制备、薄膜沉积、科研实验室等离子实验等领域，广泛适配高校研究院材料实验、小型半导体研发产线、新材料企业表面处理研发项目。