日本 Pekuris 等离子处理电源 MPP04-A4-30
日本 Pekuris 等离子处理电源 MPP04-A4-30
PEKURIS(栗田製作所)作为日本专注于等离子体技术的专业厂商,旗下液中等离子体发生电源,是一款专为液中等离子体实验开发的桌面式脉冲辉光放电装置,凭借紧凑设计、稳定性能与灵活调控能力,成为实验室材料合成与改性研究的优选设备,为液中等离子体相关工艺提供可靠的电力支持。
核心产品特性
Pekuris MPP04-A4-30 等离子体电源是日本原厂制造的低频等离子供电设备,搭载内置自动阻抗匹配模块,可快速适配负载变化,减少人工调试时间,保障等离子体持续稳定起辉。设备输出功率平滑可调,功率波动小,能够形成均匀稳定的等离子场,降低基材被过度刻蚀损伤的风险。整机配备多重安全保护机制,出现过流、过热、高压异常时可快速切断输出,保护电源本体与前端工艺腔体。设备支持 RS485 通讯,能够接入上位机系统,实现远程参数设定与运行状态监控,方便集成至自动化产线。风冷散热结构维护简单,无需外接水冷管路,设备安装布局更加灵活紧凑。电源响应速度快,启停可控性好,可适配间歇式批量处理工艺。适用于多种惰性及反应型工艺气体,工艺兼容性强,在小批量研发与中试产线均可稳定运行,为材料表面改性、清洗工艺提供稳定可靠的能量供给,有效提升产品表面处理的一致性。
适用场景
应用于半导体、光学元件、高分子材料等行业,用于基材等离子清洗、表面活化、刻蚀以及薄膜预处理工艺,适用于实验室研发、中试产线样品处理,改善材料表面附着力,提升镀膜、粘接工艺效果。
| 参数项 | 规格值 |
|---|---|
| 供电方式 | 接地式单相 AC100V(50/60Hz),1.5kVA |
| 电源容量 | 1kW |
| 输出通道 | 1 频道 |
| 输出电压 | ±4kV |
| 输出电流 | ±4A |
| 频率设定范围 | 100Hz~30kHz |
| 脉冲宽度设置 | 0~4μs |
| 保护功能 | 直流过流 / 输出过流 / 温度异常 / 保险丝断线 / 漏电检测 |
| 冷却方式 | 内置风扇强制空冷 |
| 设备构成 | 1 个单元 |
| 设备重量 | 19kg |
| 外形尺寸(宽 × 高 × 深) | 199×378×450mm |
| 适用场景 | 液中等离子体实验、纳米材料合成、碳纳米管改性、材料表面处理 |
深圳市秋山贸易有限公司版权所有 地址:深圳市龙岗区龙岗街道新生社区新旺路和健云谷2栋B座1002