日本富士电动蝶阀
日本富士电动蝶阀
寿命长，价格低，性能高，可进行各种开闭操作的蝶阀。
- 寿命长一百万次
- 价格低廉自动压力控制可以低价进行。
- 高性能高性能伺服电机，伺服放大器，采用新的驱动机制
- 可以实现高性能的泄漏规格（*注1），多级位置控制和自动压力控制。
还可以通过阀门O形圈来支持拧紧余量O规格，从而实现小的电导。 - 它的小直径为20A NW25。（也可提供20A NW25尺寸的O形圈，可以将其*闭合。）
特征
- 低成本阀门MBV-SDⅡ-M4-ARJ系列是于传导控制的电动蝶阀，没有阀体O形圈。
- 三菱电机制造的多功能伺服电动机用作阀体的驱动源，并且可以将阀体停止并保持在任何其他位置，例如*关闭或*打开。
- 阀门的开口面积可以分多个阶段进行更改，可用于多种用途，例如在真空容器内保持恒定压力，改变阀门前后的压力以及改变排气导度。
- 可以使用计算机软件或伺服放大器本身预先设置中间停止位置，多可以存储13个位置。
- 通过从PLC等主机系统发送信号，它将以良好的再现性停在设定位置。
- 通过将可选的双重自动压力控制系统控制器与FPC系列相结合，可以进行包括自动压力控制在内的各种控制。
MBV-SDⅡ-M4-ARJ系列的主要规格
| 法兰类型 | JIS / ISO / CF / NW |
|---|---|
| 泄漏量 | 1 x 10 -9 Pa·m 3 / s以下 |
| 使用面积 | 10 5 至10 -6 Pa |
| 盘式密封 | 没有 |
| 轴封 | 拜顿O型圈2个步骤 |
| 直径 | 20A-100A |
|---|---|
| 电源规格 | 主电源AC200V（额定电流1.5A） 控制电源AC200V（额定电流0.2A） 接口电源DC24V（大500mA） |
| 控制方式 | 交流伺服方式 |
| 气体接触材料 | SUS304 |
*本规格如有更改，恕不另行通知。
本页面的内容
- 系统配置
- 附伺服放大器尺寸图
- 关于非标准电机支持
- MBV-JISSDⅡ-M4系列尺寸图
- MBV-ISOSDⅡ-M4系列尺寸图
- MBV-CFSDⅡ-M4系列尺寸图
- MBV-NWSDⅡ-M4系列尺寸图
系统配置
*除阀单元（阀体，伺服电机，伺服放大器）中包含的组件外，它是一个选件。
*有关可选项目，请参阅随附的“多位置选项列表”。
*注）1.泄漏规格（无阀体密封机构）
附伺服放大器尺寸图
关于非标准电机支持
我们还将向您咨询有关更换适合您设备使用环境的电机（例如标准电机以外的伺服电机）的信息。
*也可以通过连接可选的双压力控制控制器用作APC。
MBV-JISSDⅡ-M4系列尺寸图
| 单位：毫米 | |||||
| 模型 | MBV-1SDⅡ-M4-ARJ | MBV-2SDⅡ-M4-ARJ | MBV-2.5SDⅡ-M4-ARJ | MBV-3SDⅡ-M4-ARJ | MBV-4SDⅡ-M4-ARJ |
| 产品代码 | 10805□□ | 10807□□ | 10808□□ | 10809□□ | 10810□□ |
| 一种 | 20 | 20 | 20 | 20 | 20 |
| 乙 | 34 | 52 | 68 | 81 | 104 |
| C | 58 | 88 | 105 | 120 | 145 |
| d | 90 | 120 | 145 | 160 | 185 |
| n—E | 4-φ10 | 4-φ10 | 4-φ12 | 4-φ12 | 8-φ12 |
| F | 70 | 100 | 120 | 135 | 160 |
| G | 33 | 52 | 67 | 80 | 102 |
| H | 222.5 | 253 | 278.5 | 292.5 | 318 |
| Ĵ | 102.5 | 117.5 | 130 | 137.5 | 150 |
| ķ | 43 | 58.5 | 71.5 | 78 78 | 91 |
| 大号 | 90 | 90 | 90 | 90 | 102 |
| P | 40 | 70 | 85 | 100 | 120 |
| V | V40 | V70 | V85 | V100 | V120 |
注1.以上是符合JIS B2290真空装置法兰附件维护法兰的法兰。
MBV-ISOSDⅡ-M4系列尺寸图
| 单位：毫米 | |||||
| 模型 | MBV-ISO40SDⅡ-M4-ARJ | MBV-ISO50SDⅡ-M4-ARJ | MBV-ISO63SDⅡ-M4-ARJ | MBV-ISO80SDⅡ-M4-ARJ | MBV-ISO100SDⅡ-M4-ARJ |
| 产品代码 | 10865□□ | 10866□□ | 10867□□ | 10867□□ | 10868□□ |
| 一种 | 30 | 30 | 30 | 30 | 30 |
| 乙 | 34 | 52 | 68 | 81 | 104 |
| C | 100 | 110 | 130 | 145 | 165 |
| d | 120 | 120 | 145 | 160 | 185 |
| n—E | 4-φ9 | 4-φ9 | 4-φ9 | 8-φ9 | 8-φ9 |
| F | 80 | 90 | 110 | 125 | 145 |
| G | 二十三 | 47 | 62 | 76 | 100 |
| H | 253 | 253 | 278.5 | 292.5 | 318 |
| Ĵ | 117.5 | 117.5 | 130 | 137.5 | 150 |
| ķ | 58.5 | 58.5 | 71.5 | 78 78 | 91 |
| 大号 | 90 | 90 | 90 | 90 | 102 |
注1.以上是符合ISO1609真空技术-法兰尺寸的法兰。
MBV-CFSDⅡ-M4系列尺寸图
| 单位：毫米 | ||||
| 模型 | MBV-CF40SDⅡ-M4-ARJ | MBV-CF40SDⅡ-M4-ARJ | MBV-CF63SDⅡ-M4-ARJ | MBV-CF100SDⅡ-M4-ARJ |
| 产品代码 | 10840□□ | 10840□□ | 10842□□ | 10844□□ |
| 一种 | 30 | 30 | 30 | 30 |
| 乙 | 二十三 | 34 | 52 | 104 |
| C | 69.4 | 69.4 | 113.5 | 151.6 |
| d | 80 | 90 | 120 | 185 |
| n—E | 6-M6 | 6-M6 | 8-M8 | 16-M8 |
| F | 58.7 | 58.7 | 92.1 | 130.2 |
| G | 0 | 二十三 | 47 | 100 |
| H | 212.5 | 222.5 | 253 | 318 |
| Ĵ | 97.5 | 102.5 | 117.5 | 150 |
| ķ | 38 | 43 | 58.5 | 91 |
| 大号 | 90 | 90 | 90 | 102 |
注1.以上是符合ISO / TS3669-2真空技术的法兰-耐用法兰-第2部分：刀口法兰的尺寸。
注2. CF40没有检漏槽。
MBV-NWSDⅡ-M4系列尺寸图
| 单位：毫米 | ||||||
| 模型 | MBV-NW25SDⅡ-M4-ARJ | MBV-NW40SDⅡ-M4-ARJ | MBV-NW50SDⅡ-M4-ARJ | MBV-NW63SDⅡ-M4-ARJ | MBV-NW80SDⅡ-M4-ARJ | MBV-NW100SDⅡ-M4-ARJ |
| 产品代码 | 10822□□ | 10824□□ | 10825□□ | 10826□□ | 10827□□ | 10828□□ |
| 一种 | 40 | 40 | 40 | 40 | 60 | 60 |
| 乙 | 二十三 | 34 | 52 | 68 | 81 | 104 |
| d | 40 | 55 | 75 | 87 | 114 | 134 |
| G | 0 | 0 | 36 | 56 | 55 | 84 |
| H | 212.5 | 222.5 | 253 | 278.5 | 292.5 | 318 |
| Ĵ | 97.5 | 102.5 | 117.5 | 130 | 137.5 | 150 |
| ķ | 38 | 43 | 58.5 | 71.5 | 78 78 | 91 |
| 大号 | 90 | 90 | 90 | 90 | 90 | 102 |
注1.对于NW25尺寸，可以使用可以*闭合的*闭合类型。
注意2.请使用我们的多夹钳进行安装。如果您使用我们公司以外的其他夹具，则根据夹具的形状，可能未安装阀门。
M4-ARJ通用选项
* MBV-ADⅡ-M4-ARJ / MBV-LDⅡ-M4-ARJ / MBV-SDⅡ-M4-ARJ通用选项设置伺服放大器上的位置并将阀阀体操作到任何位置。
1. 1。ENC电缆（负载抽屉/抗负载抽屉）（注1）
用于连接阀和伺服放大器的电缆。
格式 长（L） ENC电缆（负载侧）2m_4123500 2m ENC电缆（负载侧）5m_4123501 5m ENC电缆（负载侧）10m_4123502 10m ENC电缆（非负载侧）2m_4123505 2m ENC电缆（非负载侧）5m_4123506 5m ENC电缆（非负载侧）10m_4123507 10m 
注意1.（装载抽屉/防装载抽屉）
2。MOT电源线（负载抽屉/抗负载抽屉）（注1）
用于连接阀和伺服放大器的电缆。
格式 长（L） MOT电缆（负载侧）2m_4123520 2m MOT电缆（负载侧）5m_4123521 5m MOT电缆（负载侧）10m_4123522 10m MOT电缆（非负载侧）2m_4123525 2m MOT电缆（非负载侧）5m_4123526 5m MOT电缆（非负载侧）10m_4123527 10m 
*不是屏蔽电缆。
3. 3。电磁制动电缆（负载抽屉/抗负载抽屉）（注1）
带有电磁制动器的伺服电机电缆。
格式 长（L） BL电缆（负载侧）2m_4123540 2m BL电缆（负载侧）5m_4123541 5m BL电缆（负载侧）10m_4123542 10m BL电缆（非负载侧）2m_4123545 2m BL电缆（非负载侧）5m_4123546 5m BL电缆（非负载侧）10m_4123547 10m *不是屏蔽电缆。
4。-1 REMOTE I / FM电缆（CN1为50P）（注2）
用于远程输入/输出到伺服放大器的电缆。
格式 长（L） 远程I / FM电缆_4123340（1m） 1m 远程I / FM电缆_4123341（2m） 2m 远程I / FM电缆_4123342（3m） 3m 远程I / FM电缆_4123343（4m） 4m 远程I / FM电缆_4123344（5m） 5m 
4。-2 REMOTE中继端子台I / FM电缆（CN1为50P），中继端子台（MR-TB50）（注2）
继电器电缆和端子块，用于远程输入/输出到伺服放大器。
格式 长（L） MR-J2M-CN1 TBL05M_4123350 0.5米 MR-J2M-CN1 TBL1M_4123351 1m 继电器接线盒MR-TB50_4123352（50P） 
伺服放大器连接器中继端子连接器
继电器接线端子50P
5，伺服支持软件
用于设置伺服放大器上位置的软件。
格式 语言 SW1 DNC-MRC2-J_4123560 日文版 SW1 DNC-MRC2-E_4123561 英文版 
6。通讯电缆
用于连接PC和伺服放大器的USB电缆。
格式 长（L） MR-J3USBCBL3M_4123562 3m 
伺服放大器mini-B连接器PC A连接器
注2）REMOTE I / FM电缆要求4-1或4-2。
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