第1点
对晶圆上的掉落灰尘进行分类。可以通过测量图像确认颜色区分显示异物情况‼
分级・通过颜色区分显示易于理解‼
洁净室观察用落尘粗大粒子计数器
洁净室观察用落尘粗大粒子计数器
RACCAR对导致产品故障的直接原因“粗大颗粒"进行分类处理。正在计数中。
只需设置采集板并用RACCAR进行测量,即可确认制造工序内所有部位的粗大粒子状况。
在粒子计数器中确认的微粒与粗粒子的行为不同。管理粗大粒子正是应对不良对策的捷径!
"粗大粒子计数器"RACCAR"使用4英寸硅芯片作为样品板," 用于对样品板上的粗大粒子进行分类和计数的装置 是的。结果会显示在附带的电脑上,并保存数据。可以解析。
"粗大粒子计数器"RACCAR"使用4英寸硅芯片作为样品板," 用于对样品板上的粗大粒子进行分类和计数的装置 是的。结果会显示在附带的电脑上,并保存数据。可以解析。
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